판매용 중고 ASYST LPI 2200 #9111911

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ID: 9111911
빈티지: 1999
SMIF Loader P/N: 9700-4330-01 Rev. K 1999 vintage.
ASYST LPI 2200은 다양한 환경에서 작동하도록 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 종합적이고 맞춤형 장비 구성이 가능한 모듈식 디자인이 있습니다. LPI 2200은 저압 환경에서 직경 200 밀리미터 (200mm) 의 다양한 웨이퍼 크기를 처리할 수 있으며, 정확한 웨이퍼 제어 및 정밀한 정렬을 제공합니다. 정확한 제어 시스템 기능은 정확한 정렬을 위해 확대/축소 (zoom) 및 회전 제어 (rotation control) 를 제공하며, 정확한 배치를 위해 기판 피쳐에 대한 특정 정렬과 함께 제공됩니다. ASYST LPI 2200 (ASYST LPI 2200) 은 자동 육아 기능을 제공하여 여러 웨이퍼를 특정 참조 위치에 동시에 정렬할 수 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼의 정밀한 정렬 및 위치 지정이 보장됩니다. 핸들러는 또한 특허를받은 웨이퍼 클램프 장치 (wafer clamp unit) 를 사용하여 웨이퍼 안정성을 제어하고 웨이퍼 파손을 최소화합니다. 웨이퍼 클램프 (wafer clamp) 는 매우 민감하며, 웨이퍼의 움직임을 정확하게 제어하는 한편, 여행 중에 웨이퍼의 정확하고 반복 가능한 동작을 제공합니다. 처리기 (handler) 는 다양한 프로세스 요구사항과 함께 작동하도록 설계되었으며, 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. Si, GaAs, Ge 및 CDS와 같은 다양한 재료를 사용할 수 있습니다. 다이 본딩, 범프 생성, 인터 포저 첨부, 와이어 본딩 및 기타 작업에도 사용할 수 있습니다. LPI 2200에는 내장 스캐너 및 비전 (vision) 시스템이 장착되어 있어 안정적이고 안전한 프로세스 모니터링이 가능합니다. 이를 통해 웨이퍼 정렬 문제를 신속하게 감지하고, 웨이퍼 파손의 위험을 최소화하고, 폐기물을 줄일 수 있습니다. ASYST LPI 2200은 또한 사용자에게 직관적인 메뉴와 강력한 데이터 관리 기능을 제공하는 최신 HMI (Human Machine Interface) 를 갖추고 있습니다. 안전성 및 신뢰성 측면에서 LPI 2200에는 온도, 압력, 관성 수준을 모니터링하는 다양한 센서가 장착되어 있습니다. 또한 유해 가스를 감지하는 누출 센서가 있습니다. 핸들러는 ANSI, CE 및 SGS를 포함한 표준 안전 표준 표준과 호환됩니다. 전반적으로 ASYST LPI 2200은 웨이퍼 처리에서 탁월한 정확성과 신뢰성을 제공합니다. 모듈식 디자인과 고급 웨이퍼 제어 (Advanced Wafer Control) 기능은 와퍼를 처리하기 위해 포괄적이고 안정적인 프로세스를 제공 할 수 있습니다. 여기에는 HMI 및 많은 안전 기능이 포함되어 있으며, 종합적이고, 효율적이며, 안전한 웨이퍼 처리 장치를 제공합니다.
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