판매용 중고 ASYST LPI 2200 #9111910

ASYST LPI 2200은 반도체 제조 응용 프로그램에서 향상된 성능을 제공하도록 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 이 도구는 웨이퍼 (wafer) 처리 작업의 효율성을 극대화하는 한편, 공정 중 연약한 부품의 오염, 손상 가능성을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 기계는 정확한 정확도로 웨이퍼를 이동, 처리 및 배치 할 수있는 다중 축 (multi-axis) 로봇 암을 사용하여 작동합니다. 통합 선형 모터 드라이브 (Linear Motor Drive) 는 로봇 암의 빠르고 정확한 위치를 보장하므로 더 빠른 웨이퍼 배치 및 처리가 가능합니다. 다중 축 암은 최대 속도 200mm/s의 6 가지 방향으로 움직일 수 있습니다. 이 로봇에는 모션 중 웨이퍼를 안전하게 파악하는 진공 장비와 정확한 처리를 위한 치수 감지 시스템 (dimensional sensing system) 이 내장되어 있습니다. 또한, 로봇에는 실시간 개체 검색 장치 (real-time object detection unit) 가 포함되어 있으며, 이 장치를 로드하기 전에 wafer의 객체에 대한 유용한 정보를 검색할 수 있습니다. 이 툴은 wafer, size, shape 유형을 식별하고 기타 관련 정보를 제공할 수 있습니다. LPI 2200은 카세트에 최대 8 개의 웨이퍼, 패널에 최대 12 개의 웨이퍼를 내장할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 최대 16 개의 웨이퍼 (wafer) 의 공선형 전송을 지원하며, fab 내 다른 머신 및 시스템과의 빠른 현장 통신을 지원합니다. 이 자산은 높은 수준의 유연성 (Flexibility) 을 제공하여 Fab 의 모든 로봇 기술, 프로세스, 애플리케이션을 지원할 수 있습니다. 또한 다양한 모니터링 시설과 함께 제공되어 로봇 암 (robotic arm) 이 제대로 작동하는지 확인합니다. 여기에는 사용자 안전 (User Safety) 경보를 제공하고 로봇의 모든 유형의 오작동을 감지하는 고급 센서가 포함됩니다. 전반적으로 ASYST LPI 2200 (ASYST LPI 2200) 은 탁월한 성능을 제공하며 연약한 부품의 오염과 손상을 줄이는 데 도움이 되는 안정적이고 강력한 웨이퍼 핸들러입니다. 이 모델은 견고한 설계를 통해 극한의 온도, 충격, 진동을 처리 할 수 있습니다. 또한, 통합 실시간 개체 감지 장비 (Real-Time Object Detection Equipment) 및 모니터링 기능 (Monitoring Facility) 은 다양한 애플리케이션에서 효과적으로 작동할 수 있는 추가 보증을 제공합니다.