판매용 중고 ASYST LPI 2200 #9094285

ASYST LPI 2200은 상업 및 연구 수준 반도체 장치 제조에 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. LPI 2200은 6, 8, 12 인치 (150-, 200- 및 300mm) 표준 형식으로 한 번에 최대 30 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 이중 엔드 카세트 로더를 갖추고 있습니다. 로더는 독립적 인 카세트 클러치와 웨이퍼 타임 아웃 인터록 (timeout interlock) 을 특징으로하여 손상이 없어도 안전하고 안전한 웨이퍼 전송이 가능합니다. ASYST LPI 2200 핸들러는 또한 폐쇄 루프 (closed-loop) 웨이퍼 클램프 장비를 제공하며, 이는 조정 가능하며 웨이퍼 슬리핑을 방지하는 고유하고 독점적 인 메커니즘으로 위치 안정성을 제공합니다. 이 클램프 시스템은 표준 모서리 (Standard Edge) 또는 노치 중심 (Notch-Center) 처리에 사용하기에 적합하며, 웨퍼의 에지 접촉을 최소화하는 특허받은 클램프 암 (Clamp Arm) 구성이 있습니다. 또한 LPI 2200은 오염을 방지하기 위해 HEPA 필터를 갖춘 온도 조절 환경을 가지고 있습니다. ASYST LPI 2200의 다른 기능으로는 최고 500mm/sec의 속도로 웨이퍼를 움직일 수있는 고속 웨이퍼 (wafer) 전송 장치 및 정전기 민감성 장치를위한 진공 픽업 (vacuum pickup) 이 있습니다. LPI 2200은 또한 독립적 인 열/클램프 높이 제어 시스템을 장착하여 적절한 웨이퍼 처리 및 포지셔닝 정확성을 보장합니다. 또한, 초저진동 디자인은 진동 및 교란 방지 처리를 보장합니다. 안전성 측면에서, ASYST LPI 2200은 안전 연동기 (Safety Interlock Machine) 및 장애 안전 (Failsafe) 소프트웨어로 구성되어 오해를 막고 안전한 프로세스 제어를 보장합니다. 또한, LPI 2200은 모든 표준 자동 프로세스 툴에 맞게 설계되었으며, 플러그 앤 플레이 (plug-and-play) 작업을 허용합니다. 또한 ASYST LPI 2200은 매우 효율적이며 고급 SPC (Statistical Process Control) 기능을 통해 하이엔드 웨이퍼 처리 최적화를 수행할 수 있습니다. 전반적으로 LPI 2200은 상용/리서치 수준의 반도체 제조업체의 요구를 모두 충족하도록 설계된 강력하고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 처리 솔루션입니다. 통합 양방향 카세트 로더, 닫힌 루프 웨이퍼 클램프 도구, 독립적 인 열 및 클램프 높이 제어, 고속 웨이퍼 전송 자산 등의 기능을 갖춘 ASYST LPI 2200은 안전하고 빠르고 정확한 웨이퍼 처리를 제공합니다. 또한 고급 SPC 기능과 안전 연동 모델 (Safety Interlock Model) 을 사용하면 원하는 프로세스 최적화를 위해 여러 매개변수를 설정하고 제어할 수 있습니다.