판매용 중고 ASYST IsoPort #9390006

ASYST IsoPort는 자동 웨이퍼 처리 장비를 통해 웨이퍼를 전송하도록 설계된 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 이 로봇 웨이퍼 핸들러 (robotic wafer handler) 는 가공된 웨이퍼의 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수있는 전송을 제공하도록 최적화되었습니다. 기계식 간트리 시스템과 컴퓨터 제어 모션 제어 장치가 특징입니다. 간트리 머신 (Gantry Machine) 은 3 차원으로 로봇의 정확하고 정확한 움직임을 제공하는 3 축으로 구성됩니다. 로봇 이동은 스텝 모터 (stepper motor) 와 서보 모터 (servomotor) 기술에 의해 이루어져 일관된 도구 팁의 정확성과 반복성을 보장합니다. 이 도구는 시력 안내 암 (vision guided arm) 을 사용하여 공구 베드에 웨이퍼를 찾아 배치합니다. 시력 안내 암은 또한 취급 전에 웨이퍼 모양과 크기를 확인합니다. 컴퓨터 제어 모션 컨트롤러는 속력, 가속, 감속 (deceleration) 과 같은 로봇의 동작을 제어하도록 프로그래밍됩니다. 이렇게 하면 각 처리 작업에 적합한 속도와 속도를 로봇에서 선택할 수 있습니다. 이 속도 와 속도 를 "프로그램 '할 수 있는 한계 에 따라 조정 하도록" 프로그램' 할 수 도 있다. IsoPort는 다양한 웨이퍼 크기와 유형에 사용하도록 설계되었습니다. 라운드 (round) 및 플랫 (flat) 웨이퍼를 모두 수용할 수 있으며 공구 베드, 청소 처리 장치 및 단일 웨이퍼 전송 시스템 간에 전송하는 데 사용할 수 있습니다. ASYST IsoPort는 고온 환경에서 안전하고 효율적인 웨이퍼 처리를 위해 설계되었습니다. 자산에는 각 취급 작업의 시작과 끝에 자동으로 배치되는 안전 암 (safety arm) 이 장착되어 있습니다. 이것 은 사고 를 방지 함 으로써 "로봇 '이나" 웨이퍼' 에 손상 될 위험성 을 줄이는 데 도움 이 된다. 또한, 이 모델은 오작동시 로봇과 웨이퍼 (wafer) 를 보호하기 위해 안전 암 (safety arm) 을 즉시 닫는 자동화된 실드 장비를 갖추고 있습니다. IsoPort는 손쉬운 유지 보수 및 수리를 위해 설계되었습니다. 시스템에 진단 장치 (Diagnostic Unit) 가 장착되어 있어 운영자에게 잠재적인 문제를 감지하고 경고할 수 있습니다. 기계 는 또한 "로봇 '을 수리 하고 조정 하는 방법 에 대한 상세 한 지침 을 제공 한다. 전반적으로 ASYST IsoPort Wafer Handler는 처리 된 웨이퍼의 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 전송을 제공하는 고도의 로봇 도구입니다. 간편한 유지 보수 및 수리를 위해 설계되었으며, 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 유형을 안전하고 효율적으로 처리할 수 있습니다.