판매용 중고 ASYST IsoPort #9375303

ASYST IsoPort는 반도체 웨이퍼 처리를 위해 최고의 오염 없는 안정성 및 생산성을 제공하도록 설계된 FOUP (Fully Automated In-Line Front Opening Unified Pod) 또는 HIP (Head In-Pillow) 웨이퍼 처리 장비입니다. 이소 포트 (IsoPort) 는 웨이퍼 표면의 가장 깨끗함을 유지하면서 까다로운 요구 사항을 충족시키기 위해 맞춤식 기술을 갖춘 낮은 입자 환경을 갖추고 있습니다. ASYST IsoPort의 공압 적으로 닫힌 도어는 소산 입자 생성을 최소화하는 반면, 모든 챔버에 대한 자체 청소, 자동 필터 교환 장치 및 공기 잠금 장치 (air-lock) 를 포함한 고급 공기 여과 시스템은 입자 입력을 최소화합니다. 또한 이소 포트 (IsoPort) 는 완만 한 웨이퍼 처리 및 입자의 영향을 줄이기 위해 설계된 선형 컨베이어-디스 페이스 암 머신 (linear conveyor-dissphase arm machine) 을 사용하여 웨이퍼를 선형 컨베이어를 따라 스테이션에서 스테이션으로 부드럽게 이동할 수 있습니다. ASYST IsoPort에는 청정실 공기 시스템의 청결 성 확인, 전송 중에 생성 된 입자 모니터 및 반도체 청정실 입자 수를 측정하도록 설계된 CMS (Contaminant Monitoring Systems) 가 장착되어 있습니다. 또한 IsoPort에는 LAFI (Locally Aggressive Filtration Isolation) 자산, 저압 입자 필터 및 자동 입자 바이어싱 모델과 같은 몇 가지 고유 한 분리 기술 도구가 있습니다. 이러한 기능은 입자 수를 줄이고, 입자 붙임을 줄이고, 웨이퍼 청결도를 증가시킵니다. 또한 웨이퍼 처리 및 전송을 모니터링, 제어, 최적화하는 고급 소프트웨어 시스템 (full suite of advanced software systems) 이 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어에는 장비 와이드 커뮤니케이션 네트워크, 중앙 집중식 프로세스 및 매개변수 관리, 로봇 및 컨베이어 제어, 바코드 리더, 터치스크린 인터페이스 등이 포함됩니다. ASYST IsoPort 는 안정적이고 효율적인 Wafer 처리 시스템으로, 프런트엔드 및 백엔드 애플리케이션 간의 격차를 해소하여 Wafer 전송 프로세스를 최적화하고, Wafer 이동 시간을 줄이고, 수익률과 수익성을 높이고, 환경 준수를 높이도록 설계되었습니다. 이 제품은 최고의 입자 제어, 높은 처리량, 최대 유연성을 필요로 하는 반도체 제조 작업을 위한 완벽한 도구입니다.