판매용 중고 ASYST IsoPort #9375302

제조사
ASYST
모델
IsoPort
ID: 9375302
빈티지: 2006
Load port P/N: 9700-9129-01 2006 vintage.
ASYST IsoPort 웨이퍼 핸들러는 반도체 웨이퍼를 전송, 정렬, 저장 및 검사하기위한 다재다능하고 효율적인 솔루션입니다. 광마스크 (photomask) 와 기판 (기판) 을 포함한 모든 반도체 물질의 정확하고 안전한 처리를 위해 고급 로봇 암을 사용합니다. 모듈식 설계를 통해 변경되는 반도체 생산 요구를 쉽게 업그레이드할 수 있습니다. IsoPort는 로봇 공학 기술과 인체 공학적 디자인을 사용하여 웨이퍼 정확도와 처리량을 최대화합니다. 자동화된 로봇 암에는 사용자 정의 센서가 장착되어 있으며, 이 센서는 선택한 웨이퍼의 실시간 피드백 (feedback) 및 정확한 위치를 제공합니다. 이를 통해 ASYST IsoPort는 정확하고 빠르고 반복 가능한 웨이퍼 이동을 제공 할 수 있습니다. "로봇 '공학 기술 은 정확성 과 처리량 을 보장 할 뿐 아니라, 운영 중 에 높은 정도 의 안전 을 제공 한다. IsoPort는 반도체 산업 표준의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 청정실 호환 재료를 갖춘 밀폐 인클로저 (airtight enclosure) 는 공기 입자가 웨이퍼에 들어가서 오염되지 않도록 방지하여 고품질 제품을 제공합니다. 또한 사용자 정의 센서는 정확한 위치 지정, 모니터링 및 진단을 위한 실시간 피드백을 제공합니다. 원격 진단, 문제 해결, 분석을 위해 시스템을 컴퓨터 인터페이스에 연결할 수도 있습니다. ASYST IsoPort는 고객의 요구를 충족할 수 있는 다양한 유연한 기능을 제공합니다. 4 인치에서 12 인치까지 다양한 웨이퍼 크기를 수용하도록 설계되었으며, 대규모 및 소규모 반도체 생산 운영에 적합합니다. 또한 다양한 구성 가능한 옵션 (예: 바 코드 리더기, 일정, 다양한 로봇 암) 이 있습니다. 또한, 시스템은 다양한 유형의 키팅 (kitting) 에 사용할 수 있으며, 비표준 부품을 처리할 수 있습니다. 반도체 생산에 효율적이고 비용 효율적인 솔루션을 찾는 사람들에게는 아이소포트 (IsoPort) 가 가장 이상적이다. 다양한 고객 요구를 충족하도록 설계된, 매우 유연한 설치, 정확하고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 처리 기능을 제공합니다. 강력한 밀폐 인클로저, 고속 로봇 기능, 종합적인 진단 기능을 통해 반도체 생산 및 테스트 어플리케이션에 적합합니다.
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