판매용 중고 ASYST IsoPort #9298304

제조사
ASYST
모델
IsoPort
ID: 9298304
Load port P/N: 9700-9129-01.
ASYST IsoPort는 높은 처리량 운영을 위해 설계된 정밀 웨이퍼 처리 장비입니다. 고유한 오토 로더/언로더 (Autoloader/Unloader) 와 다양한 공구 옵션이 장착되어 있습니다. 사용이 간편한 설계로, 빠르고 효율적인 웨이퍼 전송 또는 이동을 수행할 수 있습니다. IsoPort는 통합 로봇 암을 특징으로하며 최대 300mm 웨이퍼 크기를 지원할 수 있습니다. 이 팔은 더 넓은 운동 범위를 위해 4 도의 자유 (DOF) 를 가지며 안정성 및 진동 피드백 감소를 위해 탄소 강철 섀시에 장착됩니다. 팔은 브러시리스 (brushless) DC 서보 모터에 의해 구동되며 최대 1200 lbs의 힘으로 물체를 움직일 수 있습니다. 정밀 모터 제어는 정확하고 부드러운 움직임을 보장하며, ASYST IsoPort는 다양한 포장 크기와 재료를 지원할 수 있습니다. IsoPort는 최고의 정확성과 반복 성을 위해 닫힌 루프 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 고급 장치는 추적 정확도를 높이기 위해 내장 비전 머신을 사용합니다. "로봇 '은 각각" 픽' 과 "플레이스 '연산 을 수행 할 수 있는 최대 3 개 의 독립 공구 머리 를 배치 하도록" 프로그램' 될 수 있다. 또한 ASYST IsoPort는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스와 소프트웨어를 사용자 정의하는 기능을 제공합니다. IsoPort는 최대의 안전성과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 로봇의 그래플 포인트 (grapple point) 근처에 방해물이 올 때 로봇을 막는 자동 보호 (auto-protection) 기능이 특징입니다. 이것은 로봇과 웨이퍼를 모두 보호하는 것입니다. 또한 ASYST IsoPort는 안전 메커니즘을 사용하여 운영자 근접성과 로드/언로드 작업의 무결성을 모니터링합니다. 또한, IsoPort는 독점적 인 활성 진동 감축 기술과 조용한 작동을 위해 저소음 작동을 갖추고 있습니다. 또한 간편한 통합 및 유지 관리를 위한 모듈식 아키텍처를 갖추고 있으며, UL 및 CE 의 테스트를 거쳐 인증을 받았습니다. ASYST IsoPort는 대용량 웨이퍼 처리 작업의 요구를 충족하도록 설계된 다용도 도구입니다. 이 제품은 속도, 정확성, 뛰어난 반복성을 제공하며, 다양한 애플리케이션에 이상적인 툴입니다. 사용자 친화적 인 디자인과 혁신적인 기능으로, IsoPort는 모든 웨이퍼 처리 작업에 귀중한 자산입니다.
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