판매용 중고 ASYST IsoPort #9255532

ASYST IsoPort는 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 프로세싱에서 산업 자동화 애플리케이션을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 모듈식 웨이퍼 (wafer) 처리 장비로, 애플리케이션의 특정 요구를 충족할 수 있도록 사용자 정의할 수 있습니다. IsoPort는 안전하고 오염이 없는 환경에서 웨이퍼 로딩에서 웨이퍼 언로딩까지 정확한 웨이퍼를 전송, 정렬, 검사할 수 있습니다. ASYST IsoPort (ASYST IsoPort) 는 사용자 요구에 따라 구성요소를 사용자 정의할 수 있는 모듈식 설계를 기반으로 합니다. 핵심 구성 요소는 전송 로봇 (Transfer Robot) 으로 직경 최대 25cm의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 로봇의 정밀 정렬 및 지침을 제공하는 로봇 안내 시스템; 오버 헤드 CAE (overhead CAE) 는 IsoPort 웨이퍼 챔버 안팎으로 웨이퍼 로드 및 언로드를 지원합니다. 추가 선택적 액세서리는 검사 장치 (Inspection Unit) 로, 웨이퍼의 결함을 발견하거나 피쳐를 분석하는 자동화된 비전 머신 (Vision Machine) 을 제공합니다. 또한 ASYST IsoPort (ASYST IsoPort) 는 둥근 모서리, 부드러운 표면 등 다양한 안전 기능을 제공하여 부상의 위험을 줄이고, 인원과 웨이퍼를 오염으로부터 보호하기위한 변조 안전 도어를 제공합니다. 웨이퍼 처리 도구 (wafer handling tool) 는 먼지 방지, 밀봉이며 웨이퍼 챔버 (wafer chamber) 내부에 먼지 보호 자산이 있어 처리 중 웨이퍼에 오염이없는 환경을 보장합니다. 이소 포트 (IsoPort) 는 또한 저전력 스테퍼 모터와 브러시리스 (brushless) 선형 액추에이터를 사용하여 에너지 비용을 줄이고 더 조용한 작동을 보장하는 에너지 효율적입니다. 또한 ASYST IsoPort 는 구성 가능한 소프트웨어 모델을 제공하여 특정 요구 사항에 따라 IsoPort 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. 따라서 프로세스 흐름을 최적화하고, 처리량을 높이고, 안정적이고, 반복 가능한 프로세스를 보장할 수 있습니다. 전반적으로 ASYST IsoPort는 산업 자동화 및 웨이퍼 처리를위한 이상적인 웨이퍼 처리 장비입니다. 모듈식 설계, 구성 가능한 소프트웨어, 다양한 안전 기능을 통해 사용자는 시스템을 정확한 요구에 맞게 조정할 수 있으며, 에너지 효율성 (energy efficiency) 및 먼지 방지 (dust-proof) 환경은 사용자가 섬세한 웨이퍼를 처리할 수 있도록 안정적이고 오염이 없는 장치를 갖추고 있습니다.