판매용 중고 ASYST IsoPort #9255530

ASYST IsoPort는 반도체 제조 공정에 사용되는 고정밀, 저입자 웨이퍼 핸들러입니다. 또한 까다롭고 까다로운 프로세스 환경에서 안정적이고, 정확하며, 반복적으로 사용할 수 있도록 설계되었습니다. IsoPort 웨이퍼 핸들러의 주요 구성 요소에는 멀티 스테이션 로봇 암, 웨이퍼 전송 장비 및 웨이퍼 스토리지 시스템이 포함됩니다. ASYST 이소 포트 (ASYST IsoPort) 의 로봇 암에는 맞춤형 엔드 이펙터 (custom end effector) 가 장착되어 있으며, 선택한 산업 및 극저온 환경에서 웨이퍼를 안전하게 처리하고 정확하게 배치 할 수 있습니다. 이 암은 전기 모터에 의해 구동되며 특허를받은 저 진동 서보 드라이브 (low-vbration servo drive) 를 사용하여 진동, 아웃가스 및 입자 생성을 최소화합니다. 웨이퍼 전송 장치 (wafer transfer unit) 는 선형 모터 모듈을 사용하여 프로세스 사이클에서 지정된 지점에 웨이퍼를 정확하게 배치합니다. 웨이퍼 저장 장치 (Wafer Storage Machine) 는 운영자에게 효율적이고 쉬운 웨이퍼 액세스를 제공하는 컴퓨터에 의해 관리되는 회전 목마 (carousel-type) 인벤토리로 구성됩니다. IsoPort 웨이퍼 핸들러의 주요 장점은 반복 가능성, 정확성 및 컴팩트 한 디자인입니다. 로봇 장치는 최종 이펙터의 정확하고 반복 가능한 위치를 제공하며, 저진동 서보 드라이브 (low vbration servo drive) 는 오염을 최소화합니다. 웨이퍼 전송 도구 (wafer transfer tool) 는 정확하고 반복 가능하며, 빠른 속도에서도 웨이퍼를 정확하게 전송 및 배치 할 수 있습니다. 마지막으로, 소형 디자인은 산업 및 극저온 환경의 단단한 공간에 쉽게 맞출 수 있습니다. ASYST IsoPort 웨이퍼 핸들러는 효율적인 작동 및 내구성을 제공하도록 설계되었습니다. 중복된 인터 록 (interlock) 과 충돌 방지 센서 (anti-collision sensor) 가 장착되어 있어 손상과 오염으로부터 구성 요소 부품을 보호합니다. 마지막으로, 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 과 플라스틱 디자인 (밀봉, 융합, 차폐 환경) 은 가스와 오염을 줄이고 가장 까다로운 어플리케이션에서도 부품 부품을 보호하는 데 도움이됩니다.