판매용 중고 ASYST IsoPort #9255526

ASYST IsoPort는 여러 웨이퍼 처리 도구 사이에 웨이퍼를 빠르고 정확하게 이동할 수 있도록 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 반도체 제조, MEMS 장치 처리, 광학 장치 처리 등의 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 확장성이 뛰어나고 안정성이 뛰어난 플랫폼을 기반으로 합니다. 즉, 툴과 프로세스 모듈 간에 신속하게 변경하는 동시에, 최상의 품질의 결과를 얻을 수 있는 견고한 환경을 제공합니다. IsoPort는 직접 드라이브 기술을 갖춘 X/Y 축 위치 시스템을 사용하여 최대 200mm의 웨이퍼 정밀 처리를 보장합니다. X/Y 축은 더 빠른 웨이퍼 핸드 (wafer handing) 및 체인지오버 (changeover) 를 허용하며 웨이퍼 제거 및 배치를위한 수직 Z (vertical Z) 이동을 포함하여 여러 단계 위치 주위의 자동 이동이 가능합니다. 통합 리프트 암 (lift arm) 기술은 장치의 고속 헤드 스피드로 인해 사이클 시간이 감소하며 동시에 여러 웨이퍼 (최대 4 개) 를 운반 할 수 있습니다. 사용자 인터페이스에는 직관적인 GUI (Graphic User Interface) 가 포함되어 있어 운영자가 직접 사용자 정의하고 관리할 수 있습니다. ASYST IsoPort는 시스템의 일부로 원격 서비스 기능 및 진단을 제공합니다. IsoPort 는 모듈식 (modular) 개념으로 설계되어 각 애플리케이션의 다양한 요구 사항을 충족하도록 구성을 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러는 또한 라이트 커튼 (Light Curtain) 및 수동 ESD 보호 (Passive ESD Protection) 와 같은 기능과 최대 클린룸 호환성을 제공하도록 설계되었습니다. ASYST IsoPort 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 가장 짧은 시간 프레임 내에 도구 간에 전송되는 웨이퍼 수를 최대화하여 생산성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 주기에 사용 된 시간을 최소화하면서 정확한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 위치 및 로드 매개변수의 데이터 로깅 (data logging of position and load parameter) 과 같은 다른 기능을 사용하면 자세한 추적이 가능합니다. 안전 (Safety) 은 모든 장치 처리 프로세스에서 중요한 요소이므로, IsoPort 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼의 자동 검색 가능성 및 먼지 방지를위한 전용 필터 시스템 (dust filter system) 과 같은 여러 fail-safe 메커니즘을 가지고 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 가장 까다로운 환경에서 작동하고 성능을 발휘할 수 있도록 설계되었으며, 효율성 향상, 처리 속도 향상, 정결 수준 향상 등을 보장합니다.