판매용 중고 ASYST IsoPort #9249554

ASYST IsoPort는 반도체 처리 도구 자동화를 위해 설계된 통합 웨이퍼 핸들러입니다. 이 기계 는 청정실 환경 에서 "베어 '와 가공 된 반도체" 웨이퍼' 의 수송 을 위해 설계 되었다. 로드 포트에서 다양한 작동 도구 (예: 단일 웨이퍼 프로세스 챔버) 로 직접 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. 최대 8 개의 로봇 암, 고품질, 공기 미스테이션 및 이온화 시스템의 조합을 사용하여 IsoPort는 웨이퍼를 스테이션에서 스테이션으로 빠르고 안전하게 이동할 수 있습니다. 또한, 기계에는 자동 교정 시스템 (auto-calibration system) 이 장착되어 있어 필요한 경우 웨이퍼 잡기 힘을 빠르게 조정할 수 있습니다. ASYST IsoPort는 또한 ISO Class 4 클린 룸 등급을 갖추고 있어 매우 깨끗하고 오염이 통제 된 환경에 적합합니다. 한 주기로 최대 25 개의 웨이퍼를 전송 할 수 있으며, 최대 이직률은 시간당 100 50 (150) 웨이퍼입니다. 또한, 표준 SiC (Silicon Carbide) 코팅을 특징으로하며, 각 프로세싱 사이클 전에 정확한 웨이퍼 식별을 보장하는 독점 멀티 포인트 웨이퍼 감지 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, IsoPort 는 가스 센서 제품군을 갖추고 있어, 운영자가 보다 정확하고 효율적으로 프로세스 가스를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한 입자 모니터 (particle monitor) 를 통해 운영자가 청정실 대기에서 입자, 잔해 및 기타 오염을 쉽게 감지 할 수 있습니다. 또한, 카세트-카세트 간 (cassette-to-cassette) 기능이 제공되어 기계를 기존의 자동 생산 라인에 통합 할 수 있습니다. 마지막으로 ASYST IsoPort 는 고급 모션 제어 (Motion Control) 기술과 고급 자동화 소프트웨어를 활용하여 다운타임, 비용 및 환경에 미치는 영향을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 사용자 인터페이스에는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있는데, 이 인터페이스는 시스템을 빠르고 정확하게 설정하고 작동하기 위해 필요한 정보를 제공합니다. 또한 안전 센서 (Safety Sensor) 와 특수 처리 동작 (Special Handling Behavior) 을 갖추고 있어 운송 중 웨이퍼의 손상 위험을 최소화합니다.