판매용 중고 ASYST IsoPort #9224953

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ASYST IsoPort
판매
제조사
ASYST
모델
IsoPort
ID: 9224953
웨이퍼 크기: 12"
Loader, 12" Track robot Edge handling puck ECWA Assy Robot controller (2) ISO Ports.
ASYST IsoPort는 200mm 웨이퍼 처리 장비에 통합되도록 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 프로덕션 환경 내에서 웨이퍼 (wafer) 와 캐리어 (carrier) 프레임을 전송하는 안정적이고 효율적인 방법을 제공합니다. 이소 포트 웨이퍼 핸들러 (IsoPort wafer handler) 는 스테퍼 모터로 구동되며, 최대 10 lb의 최대 하중으로 최대 8 "직경의 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 빠르고 정확한 방법으로 웨이퍼 로드 및 언로드를 탐색하기 위해 X-Y 시스템을 사용합니다. ASYST IsoPort는 잠재적 인 웨이퍼 손상을 제거하기 위해 지속적인 온도 및 습도를 유지하도록 설계되었습니다. 한 번에 여러 개의 웨이퍼를 저장할 수있는 이동식 카세트 시스템이 있습니다. 또한 IsoPort에는 Wafer Misalignation을 감지하고 자동으로 조정 할 수있는 내장 "Vision System" 이 있습니다. 또한 자동 진공 척 (automated vacuum chuck) 을 사용하여 처리 표면에 웨이퍼를 안전하게 전송합니다. 신뢰성 측면에서 ASYST IsoPort는 우수한 성능을 갖춘 것으로 입증되었습니다. 최대 10 만 시간 이상 가혹한 조건에서 테스트되며 최대 10 만 시간의 MTBF (Mean Time Between Failures) 가 가능합니다. 또한 간편한 설치, 안정적인 성능, 유지 보수 작업을 통해 다운타임을 최소화할 수 있습니다. IsoPort 웨이퍼 핸들러는 SEMI 표준을 충족하도록 설계되었으며, 기존 운영 환경에 개조할 수 있습니다. 200mm 웨이퍼 처리 장비와 호환되며 8 주 리드 타임이 제공됩니다. ASYST IsoPort (ASYST IsoPort) 는 200mm 웨이퍼 처리 장비에 크게 추가되었으며 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리를 보장합니다. 검증된 신뢰성 기록 (Track Record) 과 기존 운영 환경에 손쉽게 통합할 수 있는 능력을 갖춘 IsoPort 는 Wafer 처리 프로세스 (Wafer Handling Process) 를 간소화할 수 있는 최상의 솔루션입니다.
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