판매용 중고 ASYST IsoPort #9213030

ASYST IsoPort는 ASYST Technologies에서 개발 한 SEMI S2 호환 웨이퍼 핸들러입니다. 반도체 제작에서 테스트에 이르기까지 다양한 응용프로그램에서 반도체 웨이퍼 (wafer) 를 빠르고 안정적으로 처리하는 데 이상적입니다. IsoPort 장비에는 증착, 에치, 검사 및 테스트를위한 여러 프로세스 도구가 장착되어 있습니다. 고급, 사용하기 쉽지만 로봇 암은 전체 프로세스 영역 주변에서 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 이 시스템은 최소한의 운영자 개입 (Operator Intervention) 으로 설계되었으며, 경험에 관계없이 누구나 신속하게 설정하고 운영 할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 이동식 트레이가 있는 안전한 회전 테이블을 사용하며, 프로세스 모듈 간 웨이퍼의 안전한 전송을 위해 커버를 사용합니다. 각 "트레이 '는 고속 으로" 웨이퍼' 를 안전 하게 끼우고 이동 시키고 전체 과정 에 걸쳐 "웨이퍼 '무결성 을 보장 하도록 설계 되었다. 트레이에는 표준 크기의 웨이퍼 (wafer) 가 장착되어 있으며 크기가 다른 웨이퍼를 수용하기 위해 맞춤형 용지함에 장착 할 수 있습니다. 보안 회전 테이블 (secure rotating table) 은 처리 중 핸들러 (handler) 의 바깥쪽 가장자리에서 분리하여 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. ASYST IsoPort 웨이퍼 핸들러는 내구성이 뛰어난 구성 요소와 재료로 구성되어 다양한 프로세스 안정성을 보장합니다. 유연한 설계로 유지 보수가 쉽고, 착용된 부품을 신속하게 교체할 수 있습니다. 또한 고유 한 열 프로파일 제어 장치 (thermal profile control unit) 가 포함되어 있어 웨이퍼가 고르게 가열되고 유전체 증착과 같은 정확한 온도 조절이 필요한 프로세스에 적합합니다. IsoPort 웨이퍼 핸들러에는 고속, 자동 로딩 및 웨이퍼 언로드를 위해 2 개의 컨베이어 벨트와 특수 동력 무기가 장착되어 있습니다. 이를 통해 최적의 처리량과 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 컨베이어 벨트 (Conveyor Belt) 와 팔 (Arms) 모션을 미세하게 튜닝하여 웨이퍼의 완전한 유연성과 프로그래밍 가능한 동작을 제공합니다. 또한 E 스톱 머신 (E-stop machine) 을 포함하여 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있어 긴급 상황에서 전체 도구를 막을 수 있습니다. ASYST IsoPort 웨이퍼 핸들러는 다양한 직관적인 기능과 강력한 데이터 분석 기능을 자랑합니다. 프로세스, 기간별 데이터를 저장하고, 다운로드, 확인, 해석하여 프로세스 가시성과 효율성을 높일 수 있는, 포괄적이고 내장된 데이터베이스를 갖추고 있습니다. 또한 강력한 소프트웨어 제어 비전 (vision) 모델을 통해 웨이퍼를 자동으로 검사하고, 결함을 확인하고, 로그 보고를 활성화할 수 있습니다. 전반적으로 IsoPort 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 처리하도록 설계되었습니다. 첨단 기술, 향상된 설계, 강력한 도구를 통해 모든 반도체 FAB (Fab/Testing Facility) 를 완벽하게 선택할 수 있습니다.