판매용 중고 ASYST IsoPort #9206458

ASYST IsoPort는 반도체 제조 자동화 솔루션의 선두 주자인 ASYST Technologies가 개발한 고성능, 맞춤형 자동화 툴입니다. IsoPort는 최대 200mm 웨이퍼를 포지셔닝, 전송 및 테스트 할 수있는 웨이퍼 핸들러입니다. 신뢰할 수있는 SCARA 유형 로봇은 모든 웨이퍼 처리 기능을 수행하여 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 시범 실행 및 저용량 개발 주기뿐만 아니라 대용량 생산에 적합합니다. 강력한 프레임 및 솔리드 로봇 구성 요소를 기반으로 구축 된 ASYST IsoPort는 안정적이고 안정적입니다. 로봇 베이스는 웨이퍼 처리에 필요한 선형 (linear) 및 회전 (rotational) 동작을 모두 견고하게 지원합니다. 정밀 디지털 드라이브 (precision digital drive) 장비는 부드럽고 정확한 동작을 제공하여 반복 가능한 전송을 보장합니다. 이중 암 시스템은 안전하고 섬세한 웨이퍼 처리 작업을 제공하도록 설계되었습니다. "웨이퍼 '암 의 표면 접촉 면적 은" 웨이퍼' 를 손상 시키지 않고 움직 이는 데 필요 한 최소 의 취급 력 에 최적화 된다. IsoPort에는 고급 장치 제어 장치와 사용자 친화적 인 그래픽 HMI가 장착되어 있습니다. 기계 제어는 마이크로 프로세서 (micro-processor) 기반이며, 효율적인 연산자 인터페이스뿐만 아니라, 웨이퍼 처리 작업을 사용자 정의하는 다양한 기능을 제공합니다. 통합 HMI (Integrated HMI) 는 로봇의 설정과 작동을 단순화하여 사용자가 필요한 웨이퍼 방향 (Wafer Orientations) 및 기타 전송 매개변수를 지정할 수 있도록 합니다. ASYST IsoPort는 진동 제어 기술을 통합하여 부드럽고 정확한 웨이퍼 처리를 보장합니다. 진동 탐지 (Vibration Detection) 기능은 내장되어 있으며, 필요한 경우 로봇의 이동 속도와 가속을 조정하는 데 사용할 수 있습니다. 이것은 이동 중에 연약한 웨이퍼를 손상시킬 위험을 줄이는 데 도움이됩니다. 또한 IsoPort에는 자동 웨이퍼 특성화 옵션과 과압/저압 장치 감지 옵션이 포함되어 있습니다. 이러한 안전 기능은 웨이퍼 바이어싱 및 처리 조건이 허용 가능한 한도 내에 유지되도록 도와줍니다. ASYST IsoPort 의 모듈식 설계를 통해 기존 Fabrication 라인에 손쉽게 통합할 수 있으며, 향후 확장도 가능합니다. 빠른 처리 속도, 정밀 동작 제어, 탁월한 안전 기능을 결합한 IsoPort 는 반도체 처리 어플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.