판매용 중고 ASYST IsoPort #9199614

ASYST IsoPort는 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. "웨이퍼 '는 한 지점 에서 다른 지점 으로 신속 히 그리고 최소" 웨이퍼' 변형 으로 "웨이퍼 '를 옮길 수 있다. 이 시스템은 최대 12 인치 직경의 원형, 사각형, 직사각형 등 다양한 유형의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 최대 유연성을 위해 장치를 완전히 자동화하거나 수동으로 제어할 수 있습니다. IsoPort 머신은 그리드리스 웨이퍼 전송 도구, 통합 프로버, 웨이퍼 로더 및 언로더, ELV-ASYST IsoPort 온도 컨트롤러를 포함한 여러 모듈로 구성됩니다. 웨이퍼 전송 에셋은 단일 (single) 및 다중 (multiple) 웨이퍼 (wafer) 배치를 모두 처리할 수 있으며 웨이퍼를 전송할 때 저각도, 저진동 동작을 보장하도록 설계되었습니다. 고효율 스테퍼 모터에 의해 작동하며, 수송 중 웨이퍼 두께 변화를 보완하는 통합 ASYST Wafer Volume Pressure (WVP) 기능도 포함됩니다. 통합 프로버는 조작 암 (manipulator arm) 과 석영 문 (quartz door) 으로 구성되며, 먼지와 다른 입자가 챔버에 들어갈 가능성을 줄임으로써 깨끗한 환경을 제공합니다. 이 검사는 사이클 당 최대 6 개의 웨이퍼를 전송 할 수 있으며, 표면 품질 평가 (surface quality assessment) 및 전기 테스트 (electrical testing) 와 같은 다양한 인라인 테스트 절차에 사용할 수 있습니다. ELV-IsoPort 온도 컨트롤러는 웨이퍼 전송 중 온도를 정확하게 제어하고 모니터링하도록 설계되었습니다. 활성 냉각 모델 (Active Cooling Model) 이 특징이며 단일 주기 동안 서피스 및 내부 웨이퍼 온도를 모두 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 마지막으로, 웨이퍼 로더 (wafer loader) 와 언로더 (unloader) 는 웨이퍼 전송 장비와 통합 프로버 사이의 버퍼로 작동합니다. 최대한의 유연성을 제공하고 온도를 유지하여 성능을 최적화할 수 있도록 설계되었습니다. 요약하면, ASYST IsoPort는 매우 다양하고 효율적인 자동 웨이퍼 처리 시스템으로, 정확하고 일관된 동작을 통해 최대 12 인치 직경의 다양한 웨이퍼를 전송 및/또는 테스트 할 수 있습니다. 통합 모듈, 온도 조절, 하이테크 웨이퍼 로더/언로더 (Unloader) 의 조합으로, 웨이퍼 변형을 최소한으로 유지하면서 최대 처리량을 보장합니다.