판매용 중고 ASYST IsoPort #9194229

ASYST IsoPort (ASYST IsoPort) 는 반도체 제작 프로세스의 효율성을 향상시키기 위해 설계된 유연하고 안정적인 웨이퍼 처리 장비입니다. 고급 ASYST VTensor 플랫폼을 기반으로 하여 웨이퍼 매핑, 정렬, 패키징 자동화를 위한 단일 시스템 솔루션을 제공합니다. 이 장치는 직경이 최대 200mm 인 소형 2 인치 웨이퍼 (최대 6 인치 웨이퍼 이상) 에서 빠르고 정확하게 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. IsoPort는 웨이퍼 처리 및 처리를위한 고급 기능을 제공합니다. 고정밀 포지셔닝 기술은 최대 0.25 um 정확도의 반복 가능하고 정확한 동작을 제공합니다. 특히 작은 기능 크기로 작동 할 때. 이 기계는 또한 입자 영역 (particles area) 과 무전이 공구 (transitionless tool) 의 분배를 보장하기 위해 고유하고 특허받은 기술을 제공합니다. ASYST IsoPort의 에어 베어링 플랫폼 및 통합 진공 자산은 최소 입자 생성을 통해 정확한 웨이퍼 처리를 가능하게합니다. 모델의 균일 한 공기 흐름은 먼지 입자의 축적을 방지하여 엄격한 오염 제어 조건을 보장합니다. 또한, 처리 시간이 빠르고, 프로세스 주기가 짧으므로 처리량이 높아질 수 있습니다. 이 장비는 또한 프로세스 제어를 보장하기 위해 모든 웨이퍼 레이어의 패턴을 표시하는 "웨이퍼 매핑 (Wafer Mapping)" 과 같은 고급 프로세스 최적화 도구를 제공합니다. 또한, 지능형 로봇 암은 다양한 속도 제어를 허용하며, 모든 작업에서 정확한 동작, 높은 해상도를 제공합니다. 그리고 '트랩 박스 (Trapbox)' 기술은 조각 된 웨이퍼 조각이 청소실 환경에 떠 다니는 것을 방지합니다. IsoPort 웨이퍼 시스템은 신뢰성이 높으며 비용 효율성이 뛰어납니다. 유연하고 자동화된 장치를 통해, 여러 프로세스를 단계별로 통합하여, 여러 가지 방법으로 사용자에게 혜택을 줄 수 있습니다. 결과적으로, 기계는 공정 품질 및 생산 수율을 증가시키는 한편, 수율 손실을 최소화합니다. ASYST IsoPort 는 여러 업종의 중요한 반도체 구성 환경에서 고성능 애플리케이션에 적합합니다.