판매용 중고 ASYST IsoPort #9189356

ASYST IsoPort는 고급 반도체 어플리케이션을 위해 설계된 프리미엄 원격 제어 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. IsoPort는 비대칭 하중 포트와 유사한 범위의 low-EMI, high-precision motion 기술을 갖춘 다목적 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 광범위한 작업 영역 (work area) 에서 여러 개의 대형 웨이퍼를 빠르고, 정확하고, 독립적으로 이동할 수 있습니다. ASYST IsoPort는 공압 구동 장치로, 시간당 54 개의 웨이퍼 속도로 최대 1,500mm 사각형 모양의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 천장 (ceiling) 및 바닥 (floor) 장착 가능한 컴포넌트로 구성되며, 사용자가 웨이퍼 경로를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 이소 포트 (IsoPort) 는 진동 및 지터를 최소화하면서 웨이퍼를 정확하게 포지셔닝 및 처리 할 수있는 독특한 스테퍼 모터 기술을 사용합니다. 이 기계의 첨단 디지털 서보 모터 (servomotor) 기술은 낮은 소음과 낮은 진동으로 정확하고 고속 작동을 보장합니다. ASYST IsoPort는 ASYST 독점 정전기 보호 (ESP) 기술의 이점을 제공합니다. 모든 로봇 처리 장치 (robotic handling unit) 와 마찬가지로, 정전하를 줄이고 민감한 장비 및 프로세스에서 입자를 멀리하기 위해 최적의 접지 및 동작 격리로 설계 및 제작되었습니다. 도구는 또한 웨이퍼 (wafer) 의 방향을 측정하고, 항상 완벽한 정렬을 유지하기 위해 빠르게 조정하는 운동학을 갖추고 있습니다. IsoPort는 반도체 프로세싱 내에서 증가하는 고생산성 웨이퍼 처리 작업의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 견고한 구성 요소와 오래 지속되는 구성 요소는 다양한 운영 환경 내에서 탁월한 성능과 확장된 내구성을 제공합니다 (영문). 자산은 또한 종합적인 실시간 모니터링 (real-time monitor) 및 데이터 로깅 (data logging) 기능을 제공하는 정교한 제어 소프트웨어와 통합되어, 사용자가 웨이퍼 처리 모델 내의 문제를 신속하게 파악하고 진단할 수 있습니다. 요약하자면, ASYST IsoPort는 다양한 사각형 모양의 웨이퍼를 시간당 54 개의 웨이퍼 속도로 처리 할 수있는 뛰어난 원격 제어 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 첨단 모션 기술과 정전기 방지 (정전기 방지) 를 통해 정전기를 줄입니다. 또한, 이 장비의 로봇 처리 (robotic handling) 기능은 모니터링 기능과 데이터 로깅을 제공하는 정교한 제어 소프트웨어와 통합되어 모든 문제를 신속하게 파악하고 진단할 수 있습니다.