판매용 중고 ASYST IsoPort #9128307

ASYST IsoPort는 자동 웨이퍼 처리 시스템에 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. IsoPort는 FOUP (Front-Opening Unified Pod) 에서 웨이퍼를 전송하는 매우 정확하고 신뢰할 수있는 방법을 제공합니다. ASYST IsoPort (ASYST IsoPort) 는 기존 시스템에 손쉽게 통합할 수 있는 컴팩트한 설계를 제공하며, 경량 설계를 통해 귀중한 공간을 절약할 수 있습니다. IsoPort 는 특허를 획득한 격리 기술로, 웨이퍼 로드 (wafer loading) 및 언로드 (unloading) 작업을 깨끗하고 오염이 없도록 해줍니다. 처리 중 민감한 부품의 손상을 방지하기 위해 통합 정전기 방전 (ESD) 보호 장비를 갖추고 있습니다. 이 장치는 강력하고 안정적인 제어 시스템 (control system software) 소프트웨어에 의해 제어되며, 각 설치의 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. ASYST IsoPort에는 웨이퍼 전송 및 위치를 최적화하는 진공 카세트 전송 장치 (표준 클린 룸 호환성 포함) 가 포함되어 있습니다. 또한 통합 easyFOUP 인터페이스를 사용하면 웨이퍼 처리 시스템의 광범위한 프로세스 툴에서 직접 IsoPort 를 제어할 수 있습니다. ASYST IsoPort는 최적의 청결, 안전 및 신뢰성을 보장하도록 설계 및 설계되었습니다. 고급 솔리드 스테이트 머신 (Solid State Machine) 은 성능을 향상시키고 자동화된 웨이퍼 처리 시스템의 까다로운 요구 사항에 대한 신뢰성이 높고, 유지 보수 수준이 낮은 솔루션을 제공합니다. IsoPort는 포드의 위치를 모니터링하고 제어하여 웨이퍼를 정확하게 처리 할 수있는 닫힌 루프 (closed-loop) 피드백 센서를 사용합니다. 이 장치에는 실외 설치에 사용하도록 설계된 실외 어댑터 (Outdoor Adaptor) 가 장착되어 있어 웨이퍼 처리 도구 (Wafer Processing Tool) 의 사용자와 프로세스에 대한 추가 보호 기능을 제공합니다. ASYST IsoPort는 대규모 웨이퍼 처리 시스템에 이상적인 솔루션입니다. 혁신적인 기능과 작은 설치 공간으로 인해 IsoPort는 연구 개발, 반도체 제작, 테스트에 이르기까지 다양한 어플리케이션에 적합합니다.