판매용 중고 ASYST IsoPort #293822205

ASYST IsoPort는 카세트, 컨테이너, FOUP 및 블레이드의 자동 처리를 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. IsoPort 는 독립형 장비로 작동하거나 기존 로봇 및 자동화 시스템과 통합될 수 있습니다. ASYST IsoPort는 모든 유형의 구성 요소 또는 부품 (웨이퍼, 기판, 패키지, 카세트, 블레이드 등) 에 대한 자동화를 위한 안정적이고 유연하며 경제적인 솔루션을 제공합니다. IsoPort는 빠르고 정확한 움직임을 위해 스카라 유형 메커니즘을 사용하는 고정밀 단일 암 (single-arm) 로봇을 제공합니다. 전기 기계식 선형 액추에이터 (electro-mechanical linear actuator) 는 카세트/컨테이너의 웨이퍼를 최종 이펙터 고정장치로 밀어 당기는 데 사용됩니다. AC 서보 모터 및 해상기는 원활하고 진동이 불가능한 위치와 속도 제어를 제공하며, 높은 반복성과 정확성을 제공합니다. ASYST IsoPort는 사용자 친화적 인 직관적 인 그래픽 인터페이스를 통해 운영자 지침 및 프로그래밍을 쉽게 할 수 있습니다. 이 시스템에는 웨이퍼의 픽과 배치 (place) 작업을 최적화하기 위해 특별히 설계된 진공 제어 장치 (vacuum control unit) 가 장착되어 있습니다. 또한 UHF (Ultra High Frequency) RFID 머신을 통합하여 다양한 유형의 웨이퍼 카세트, 컨테이너 및 블레이드를 처리 할 때 높은 효율성과 정확성을 제공합니다. IsoPort는 생산 환경뿐만 아니라 실험실에서도 지속적으로 작동하도록 설계되었습니다. 동작 기능을 통해 단일 웨이퍼에서 200mm 웨이퍼 (wafer) 까지 전체 범위의 웨이퍼 크기에 걸쳐 트래버스, 팁, 회전, 리프트 및 푸시/풀이 가능합니다. 또한 ASYST IsoPort에는 로봇 비전, 엔드 이펙터 변환 키트, 틸트 모듈, 보이지 않는 레이저 경보, 품질 관리를위한 360도 이미지 캡처 등 다양한 옵션 및 액세서리가 있습니다. 고객의 구체적인 요구 사항에 따라 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. IsoPort는 안전, 청소실 운영 및 환경 보호에 대한 전 세계 표준을 준수합니다. 공기 대피 및 공기 공급을위한 복잡한 당황 및 필터 도구 (예: 정교한 음향 절연) 를 통해 소음 성능이 매우 낮습니다. 전반적으로, ASYST IsoPort는 빠르고, 정확하고, 신뢰할 수있는 결과로, 가장 까다로운 웨이퍼 처리 어플리케이션을 충족하도록 설계된 고가용성, 유연한 웨이퍼 핸들러입니다. 저비용 (LC), 효율성 (Efficient), 완전 자동화 처리 (F.A.S.T.) 솔루션을 필요로 하는 기업에게 적합한 솔루션입니다.