판매용 중고 ASYST IsoPort #293793872

ASYST IsoPort는 반도체 제조 프로세스에 필요한 격리 단계를 통해 반도체 웨이퍼를 이동하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. "와퍼 '가 전체 격리 과정 에 걸쳐 위치 를 유지 할 수 있게 하는, 압력센서 가 집적 된 유전체 장벽 이 특징 이다. IsoPort는 +/- 1.5 ° C의 인상적인 반복 성과 0.1 ° C의 이동 해상도로 정밀 격리를 제공하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 에는 격리 단계를 통해 웨이퍼 (Wafer) 를 포지셔닝하기 위해 공압 식으로 구동되는 전체 모션 암이 장착되어 있습니다. ASYST IsoPort는 또한 사용자 정의 설계 된 Active Heat Balance 시스템을 갖추고 있으며, 이 시스템은 격리 과정에서 웨이퍼의 정확한 온도 조절 및 균일 한 난방/냉각을 가능하게합니다. 또한, IsoPort는 탁월한 신뢰성을 제공하며, 높은 에너지 증착, 넓은 열 구배 (thermal gradient) 와 같은 극단적 인 조건에서 작동 할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 핸들러는 기존의 모든 반도체 프로세스 장비와 호환되며, 오존 (ozone) 및 고 처리량 프로세스 챔버와의 호환성을 제공합니다. 고급 기능을 갖춘 ASYST IsoPort는 최첨단 반도체 장치 제작에 최적의 결과와 탁월한 성능을 제공합니다.