판매용 중고 ASYST IsoPort #293768661

제조사
ASYST
모델
IsoPort
ID: 293768661
빈티지: 2007
Load port 2007 vintage.
ASYST IsoPort는 고립 된 환경에서 웨이퍼 카세트에서 웨이퍼를 전송하는 데 사용되는 자동 웨이퍼 핸들러입니다. "와퍼 '" 카세트' 와 가공 공구 및 "로오드록 '사이 에" 웨이퍼' 를 이동 시키는 데 사용 할 수 있는 일련 의 통합 "웨이퍼 '운반 장치 와 진공" 포드' 가 있다. 또한 IsoPort는 사운드 방출 감쇠를 특징으로하여 웨이퍼를 처리하는 동안 음향 간섭을 방지합니다. ASYST IsoPort는 견고하고 신뢰할 수있는 선형 모션 장비를 사용하여 카세트, 도구, 로드록 간에 웨이퍼를 이동합니다. 이 모션 시스템은 탄소 섬유 기반이며, 웨이퍼를 빠르고 정확하게 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 갖추고 있으며, 다양한 자동화 소프트웨어와 호환되므로 유연성이 뛰어납니다. 또한 IsoPort는 -20 ° C ~ 55 ° C (-20 ° C ~ 55 ° C) 의 다양한 온도 범위에서 작업하여 처리 과정에서 환경이 완전히 분리되도록 할 수 있습니다. ASYST IsoPort는 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 자동 도어 및 자동 차단 장치 (auto-shoff machine) 를 사용하여 처리 중 사고가 발생하지 않도록 합니다. 이 도구는 또한 오차 정렬 감지 및 미세 곡예 (microcircuitry) 의 기생 노출에 이중 발병 탐지기 (dual-incidence detector) 를 사용하여 오류가없는 웨이퍼 처리를 보장합니다. 이소 포트 (IsoPort) 는 또한 보호 력 모니터링을 갖추고 있으며, 이는 과도한 힘으로 인한 웨이퍼의 잠재적 손상을 방지합니다. 또한 ASYST IsoPort 는 구성 가능한 작업 영역 (work area) 을 갖추고 있어 사용자의 요구에 따라 유연성이 향상됩니다. 또한, 필요한 경우 신속하게 재배치하여 기존 운영 라인에 통합할 수 있습니다. 이소 포트 (IsoPort) 는 도구, 건식 박스의 저장, 운송, 액체 화학 물질 취급과 같은 다른 여러 응용 분야에도 사용될 수 있습니다. 전반적으로 ASYST IsoPort는 웨이퍼 카세트에서 처리 도구 (processing tool) 및 후면 (back) 으로 웨이퍼를 전송하는 것과 관련하여 뛰어난 성능을 제공합니다. 사용자 친화적 인 인터페이스와 다양한 온도 범위 (온도 조절) 로 견고하고 신뢰할 수 있습니다. 또한 IsoPort 는 자동 차단 자산 및 강제 모니터링 (Force Monitoring) 과 같은 안전 옵션을 제공하여 웨이퍼 처리 시 정확성을 보장합니다. 이 제품은 자동화된 웨이퍼 (wafer) 처리 및 웨이퍼 (wafer) 격리가 필요한 반도체 업계에 이상적인 솔루션입니다.
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