판매용 중고 ASYST IsoPort #293768262

ASYST IsoPort는 반도체 생산에 사용되는 자동 웨이퍼 핸들러 장비입니다. 이 장치는 다양한 크기의 웨이퍼 (6 인치 및 8 인치 웨이퍼 포함) 를 처리하고 공정 챔버에 넣도록 설계되었습니다. IsoPort는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며 웨이퍼 전송을 위해 안정적이고 안전하며 안전한 환경을 제공합니다. 이 장치는 시간당 최대 124 웨이퍼 속도를 낼 수 있으며, 평균 전송 속도는 시간당 90 웨이퍼 (wafer) 입니다. 장치 설계에는 웨이퍼를 선택하고 배치하는 2 단계의 진공 시스템이 포함됩니다. 이러 한 단계 는 공정 의 속도 를 제어 하는 구동 "모우터 '와" 웨이퍼' 를 움직 이는 일 을 하는 진공 "헤드 '로 이루어져 있다. 후자의 구성 요소는 모든 FOUP (Front Opening Unified Pod) 또는 플랫 카세트와 호환되도록 설계되었습니다. ASYST IsoPort는 입자 수, 에어로졸, 습도, 온도 등 모든 중요한 프로세스 매개변수에 대해 낮은 입자 환경을 제공합니다. 이 장치는 매우 깨끗한 인테리어로 설계되었으며, 입자를 감지하도록 설계된 인테리어 조명 장치를 갖추고 있습니다. IsoPort의 공기 여과 기계는 최대 입자 제어를 위해 고효율 미립자 공기 (HEPA) 필터를 사용합니다. "웨이퍼 '처리 공정 의 안전 은" 와퍼' 처리 "로봇 '의 설계 에 의하여 더욱 강화 된다. 로봇에는 3 축 감지 도구를 제공하는 전용 모션 광학 시스템 (Motion Optical Systems) 이 있으며, 이를 통해 오브젝트의 정확도가 높은 오브젝트를 인식할 수 있습니다. 이 에셋에는 웨이퍼의 모양, 크기, 방향을 인식하는 비전 센서 (vision sensor) 와 로봇의 끝 이펙터 (end effector) 와 웨이퍼 (wafer) 사이의 거리를 측정하는 레이저 거리계 (laser rangefinder) 가 포함됩니다. "로봇 '은 이상 한 상태 를 감지 하고 즉시 멈추어" 웨이퍼' 의 손상 을 피할 수 있다. ASYST IsoPort에는 무중단 운영을 위해 설계된 고효율 내결함성 제어 모델이 장착되어 있습니다. 이 기능은 웨이퍼 핸들러가 전원 장애, 통신 오류, 환경 장애 등을 통해 작동할 수 있도록 합니다. 또한, 이 장치는 직관적인, 사용자 친화적 제어 인터페이스 (control interface) 로 설계되어 컴퓨터 또는 제어 콘솔에서 원격으로 제어할 수 있습니다. 전반적으로, IsoPort는 다양한 크기의 웨이퍼를 처리하기위한 효율적이고, 안정적이며, 안전한 장비입니다. 이 장치는 시간당 100 개 이상의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 웨이퍼 전송을 위해 안전하고 안정적인 환경을 제공 할 수 있습니다. ASYST IsoPort에는 다양한 안전 기능 (Safety Features) 이 장착되어 있어 손상이 발생하거나 처리 중에 발생할 수 있는 다른 잠재적 위험 (Potential Hazard) 으로부터 웨이퍼를 보호합니다. 이 장치는 또한 고효율 내결함성 제어 시스템 (fault-tolerant control system) 과 사용자 친화적 제어 인터페이스 (user-friendly control interface) 로 설계되어 다양한 어플리케이션에 적합합니다.