판매용 중고 ASYST IsoPort #293763379

제조사
ASYST
모델
IsoPort
ID: 293763379
빈티지: 2003
Load port P/N: 9700-9129-01 2003 vintage.
ASYST IsoPort (ASYST IsoPort) 는 다양한 반도체 웨이퍼 크기와 두께를 안전하게 운송하고 저장할 수 있도록 설계된 고정밀 웨이퍼 핸들러입니다. 독점 로봇 암을 사용하여 IsoPort는 웨이퍼 FOUP 또는 카세트, 카세트 사이, 그리고 파우프 (FOUP) 와 저장 포드 사이에서 관절 팔을 따라 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 이 기계는 또한 진공 압력 (vacuum pressure) 으로 기질을 유지하는 능력을 통해 다양한 기질의 비 접촉 및 비 진동 수송을 가능하게한다. ASYST IsoPort는 공장 프로세스 및 운영 중 안전하고, 안전하며, 시간 (punctual) 웨이퍼 수송을 보장하기 위해 독특하고 특화된 디자인으로 제작되었습니다. 최고 품질의 구성 요소로 구축된 IsoPort 는 Wafer 처리에서 사용 편의성과 신뢰성을 보장합니다. 또한 ASYST IsoPort는 평균 42dB (A) 의 낮은 소음 수준 사양과 전송 당 20 초의 정격 속도로 조용하고 효율적으로 작동하도록 설계되었습니다. 더욱이, 이 기계는 프로그래밍 가능한 기능과 기능을 갖추고 있으며, 사용자가 원하는 대로 설정을 사용자 정의하고 작업을 실행할 수 있습니다. IsoPort의 크기는 컴팩트하며, 설치 공간은 1.2 평방 미터이며 컨트롤을 사용하기 쉽습니다. 또한 사용이 쉽고 효율적인 직관적인 휴먼 머신 인터페이스 (human-machine interface) 와 HTML 기반 그래픽 사용자 인터페이스가 함께 제공됩니다. 고급 안전 조치로 구축 된 ASYST IsoPort는 비정상적인 조건을 감지할 수 있으며, 필요할 때 경고 (alarm) 가 가능합니다. 또한 통합 공압 패드 어셈블리를 갖추고 있으며, 오염 방지 옵션으로 깨끗한 웨이퍼 수송을 제공합니다. 또한, 표준 ESD 설계 프레임을 포함하면 웨이퍼에 정적 충전으로 인한 피해 위험이 최소화됩니다. 요약하면, IsoPort는 다양한 반도체 프로세스 및 운영에 이상적인 효율적이고, 소음이 적고, 안전한 웨이퍼 처리기입니다. 직관적인 HTML 기반 그래픽 사용자 인터페이스, 통합 공압 패드 (Pneumatic Pad) 어셈블리 및 ESD 설계 프레임과 같은 기능뿐만 아니라 다양한 반도체 웨이퍼 크기와 두께를 전송 및 저장하는 기능은 반도체 생산을위한 유틸리티를 더욱 향상시킵니다.
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