판매용 중고 ASYST IsoPort #293761473
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ASYST IsoPort (ASYST IsoPort) 는 웨이퍼 처리 프로세스를 간소화하고 효율적인 생산 처리량을 보장하기 위해 반도체 제조 시설을 위해 설계된 고급 웨이퍼 핸들러 장비입니다. 이 시스템은 반도체 산업을 위한 첨단 자동화 솔루션 공급업체인 ASYST Technologies (ASYST Technologies) 가 개발했습니다. IsoPort는 최첨단 기술을 갖추고 있으며 반도체 제조 환경, 특히 정밀도, 안정성, 오염 제어 (contamination control) 가 중요한 클린 룸 (cleanroom) 설정에서 필수 구성 요소로 만드는 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 다양한 크기와 사양의 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 를 처리하여 다양한 제조 공정에 대한 최대 유연성과 호환성을 제공합니다. ASYST 이소 포트 (ASYST IsoPort) 의 주요 특징 중 하나는 정확하고 부드러운 웨이퍼 처리가 가능한 고급 로봇 암입니다. 로봇 암에는 고정밀 센서와 액추에이터 (Actuator) 가 장착되어 있어 매우 정확하고 빠른 속도로 웨이퍼를 픽업하고 전송할 수 있습니다. 이 기계는 또한 웨이퍼의 정확한 정렬 및 위치 설정, 최적의 처리 보장, 손상 위험 최소화 등 고급 비전 시스템 (Advanced Vision Systems) 을 포함하고 있습니다. IsoPort는 리소그래피, 에칭, 증착, 검사 도구 등 다양한 유형의 처리 장비와 호환되도록 설계되었습니다. 이 도구는 이러한 장비와 원활하게 상호 작용하여 다른 프로세스 단계 (process steps) 간에 효율적인 웨이퍼 전송을 가능하게 합니다. 이 통합을 통해 전반적인 주기 시간을 줄이고 제조 생산성을 향상시킬 수 있습니다. ASYST IsoPort는 다른 처리 장비와의 호환성 외에도 고급 재료 처리 기능도 제공합니다. 자산은 실리콘 웨이퍼 뿐만 아니라, 유리 기판, 화합물 반도체 웨이퍼 등 반도체 제조에 사용되는 다른 유형의 기판 및 재료를 처리 할 수 있습니다. 이러한 다용도로 인해 IsoPort는 다양한 제조 응용 프로그램에 매우 유연한 솔루션이 됩니다. 오염 제어는 ASYST IsoPort 모델의 또 다른 주요 측면입니다. 이 장비 는 완전 히 밀폐 된 "웨이퍼 '수송 환경 으로 설계 되었는데, 이것 은 오염 물질 이 처리 구역 으로 침입 하는 것 을 막는 데 도움 이 된다. 이것 은 "반도체 '장치 의 질 과 안정성 을 유지 하는 데 필수적 이며, 심지어 조그마 한 먼지 혹은" 파편' 입자 도 최종 제품 의 결함 을 일으킬 수 있기 때문 이다. 또한, IsoPort에는 시스템 내 오염 제어를 강화하는 고급 공기 여과 및 정화 시스템이 포함되어 있습니다. 이러 한 "시스템 '들 은" 웨이퍼' 가 처리 과정 전체 에 걸쳐 깨끗 하고 불순물 이 없도록 유지 하고 있으며, 결함 의 위험성 을 최소화 하고, 전체 생산률 을 향상 시킨다. 전반적으로 ASYST IsoPort는 반도체 제조업체에 광범위한 기능과 기능을 제공하는 기술적으로 고급 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 장치입니다. 아이소포트 (IsoPort) 는 정밀 로봇 암 (Robotic Arm) 과 고급 비전 시스템 (Advanced Vision System) 에서 다른 처리 장비 및 고급 오염 제어 기능과의 호환성에 이르기까지 웨이퍼 처리 프로세스를 최적화하고 청소실 환경에서 제조 효율성을 향상시키도록 설계되었습니다. 생산성, 품질, 신뢰성 향상을 추구하는 반도체 제조업체를 위한 최첨단 솔루션입니다 (영문).
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