판매용 중고 ASYST IsoPort #293668624

ASYST IsoPort는 광범위한 반도체 응용 프로그램을 위해 설계된 다목적 웨이퍼 핸들러입니다. 표준 200mm, 150mm 및 125mm 웨이퍼를 하나의 웨이퍼 스태킹 카세트에서 정밀도 및 속도로 다른 카세트로 전송 할 수 있습니다. IsoPort 의 컴팩트 한 설계를 통해 클러스터 툴, 독립형 wafer-transfer station, wafer-handling 로봇 등 다양한 위치에 설치할 수 있습니다. 안정성과 설계는 다양한 설정에서 최적의 성능을 제공합니다. ASYST IsoPort는 3 개의 웨이퍼 스태킹 카세트로 구성된 경우 최고 144 웨이퍼/시간의 처리량을 제공하는 높은 처리율을 입증했습니다. 적은 설치 공간으로, 대규모 프로세스 윈치는 저장 및 전송을 위해 120 개 이상의 카세트를 수용 할 수 있습니다. 클램핑 메커니즘은 안정적이고 안정적인 웨이퍼 운송을 위해 진공 기술을 사용합니다. 또한 IsoPort 에는 운영 및 최고의 생산성을 위한 직관적인 제어 시스템, 다양한 보고서 옵션 (손잡이 시간, 출력, 웨이퍼 수 (wafer counts) 등의 정확한 분석), 최적의 오염 방지를위한 포트 격리 기능 등 다른 주요 기능이 함께 제공됩니다. 또한 웨이퍼 처리 중 환경 제어를 위해 비활성 가스 소스 (옵션) 가 장착되어 있습니다. ASYST IsoPort 는 대부분의 OEM 제품 사양에 부합하도록 설계되었으며, 평생 무상수리를 통해 고객이 안심할 수 있도록 지원합니다 (영문). Cleanroom 시설과 호환되며 모든 ISO 클래스 9 환경에서 사용할 수 있습니다. 전반적으로, 이소 포트 (IsoPort) 는 효율적인 웨이퍼 핸들러로, 다양한 웨이퍼 크기와 구성 요소에 대한 안정적인 전송을 제공합니다. 사용자 친화적이고 신뢰할 수 있으며, 핸들러 (handler) 의 설정과 작동이 매우 용이하도록 보장합니다. ASYST IsoPort는 오늘날의 반도체 산업을위한 혁신적인 혁신입니다.