판매용 중고 ASYST IsoPort #293649502

ASYST IsoPort (ASYST IsoPort) 는 진공 처리 도구 안팎으로 반도체 웨이퍼를 쉽게 옮길 수 있도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 6 인치 및 8 인치 웨이퍼를 수용 할 수있는 비 접촉, 비 진공 스캐닝 웨이퍼 로딩 스테이션입니다. 이소 포트 (IsoPort) 의 주요 특징으로는 특허를받은 실리콘 팁 (soft, sprung micrometer tip) 이 있는데, 이는 앞면 (얕은) 가장자리의 웨이퍼와 웨이퍼 치수를 매핑하는 혁신적인 열 스캐너 메커니즘입니다. 이것 은 여러 가지 "웨이퍼 '크기 를 기계적 으로 조정 할 수 있게 하며, 진공 처리" 도구' 로 "웨이퍼 '를 안전 하고 신뢰 할 수 있게 옮길 수 있게 해 준다. ASYST IsoPort는 한 번에 단일 웨이퍼 전송을위한 전용 100 미크론 크기 간격을 가지고 있으며, 사전 정렬 또는 도구 사용이 필요하지 않습니다. 대신, 매핑된 열 스캐너 데이터 (mapped thermal scanner data) 에 의존하여 빠른 속도로 웨이퍼를 전송할 때 정확한 위치 등록을 유지합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 컬러 터치스크린 디스플레이를 사용하여 호스트 장비와 통신합니다. 여기서 사용자는 이를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 또한 IsoPort 신호 보드는 전송하는 동안 발생할 수 있는 챔버 잠금 (chamber lock) 및 언로드 (unload) 오류를 시각적으로 직접 나타냅니다. 이를 통해 연산자는 오류를 신속하게 식별하고 수정할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 최소 설치 공간 전용으로 설계되었으며, 사용자가 필요에 따라 공구 설비 (Tooling) 및 컴포넌트 교체 (Replace Component) 를 쉽게 조정할 수 있습니다. ASYST 이소 포트 (ASYST IsoPort) 의 스테인리스 스틸 (Stainless-Steel) 내부는 또한 화학적으로 공격적인 액체를 처리하고 가혹한 온도에 노출 된 웨이퍼를 테스트 할 수 있습니다. 최대 시스템 가동 시간을 보장하기 위해 IsoPort에는 오류를 모니터링하고 보고하는 자체 진단 팬 (self-diagnosing fan) 을 포함한 다양한 내장 장치 진단 기능이 내장되어 있습니다. 또한, 보다 정확한 보정을 위해 실시간 센서가 장착 된 통합 폐쇄 루프 피드백 머신 (closed loop feedback machine) 과 웨이퍼의 정밀한 열 전달을 위한 실시간 열전대 (thermocouple) 가 포함되어 있습니다. 전반적으로 ASYST IsoPort는 신뢰할 수있는 성능과 빠른 웨이퍼 전송을 제공하도록 설계된 다용도 웨이퍼 핸들러입니다. 혁신적인 열 스캐너 (thermal scanner) 및 센서 기반 피드백 시스템은 전송 중 정확한 위치 등록을 허용하며, 사용자가 실시간으로 도구를 모니터링할 수 있도록 합니다. IsoPort는 최대의 자산 가동 시간과 최소 설치 공간을 제공하도록 설계되었습니다.