판매용 중고 ASYST IsoPort #293635466

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제조사
ASYST
모델
IsoPort
ID: 293635466
빈티지: 2007
Load port 2007 vintage.
ASYST IsoPort는 테스트 및 프로세스 자동화 응용 프로그램에서 웨이퍼 및 웨이퍼 캐리어를 처리하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 수직 수송 장비와 수평 수송 시스템이 특징이며, 4 인치 또는 8 인치 웨이퍼 직경으로 유연하게 작동 할 수 있습니다. 또한 전문 웨이퍼 척 (wafer chuck) 과 중력 피드 매거진 (옵션) 이 장착되어 있습니다. 이 다용도 기계는 여러 캐리어에서 다량의 웨이퍼를 처리하는 데 이상적입니다. IsoPort의 주요 구성 요소는 수직 전송 스테이션 (Vertical Transfer Station) 으로, 와퍼를 제어되고 안전한 방식으로 이동하도록 설계되었습니다. 세로로 정렬된 웨이퍼 (wafer) 클립은 웨이퍼를 제자리에 고정시키도록 설계되었으며, 잠재적인 손상으로부터 보호하도록 도와줍니다. 또한, 스테이션에는 내부 소프트웨어와 기능이 장착되어 있어 정렬 정확성과 반복 (repeatability) 을 유지할 수 있습니다. 이 장치의 두 번째 구성 요소는 수평 전송 장치 (Horizontal Transfer Unit) 로, 캐리어와 언로드 대상 간의 고속 이동을 제공합니다. 이 기계는 "와퍼 (wafer) '가 가장자리를 손상시키지 않고 올바른 방향으로 이동되도록 설계된 고정밀 (high-precision) 트랙을 갖추고 있다. 또한이 도구는 이중 머리 클램핑 암 (clamping arm) 을 사용하여 마찰을 줄인 캐리어와 웨이퍼를 확보합니다. 이 장치에는 고속 로더 (High Speed Loader) 와 고속 웨이퍼 로딩 및 캐리어 및 웨이퍼 언로딩을위한 옵션 매거진이 장착되어 있습니다. 로더는 최대 8 인치 웨이퍼 (wafer) 까지 처리 할 수 있으며, 웨이퍼 크기에 따라 라이브러리 후크를 자동으로 조정하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한, 중력 피드 매거진 (옵션) 은 안정적이고 반복 가능한 웨이퍼 자동화를 제공합니다. ASYST IsoPort (ASYST IsoPort) 는 모든 규모의 운영/테스트 환경에 적합하며, 독립형 자산으로 제공되거나, 광범위한 운영 라인에 통합될 수 있습니다. 산업용 환경에서 작동하기에 적합한 견고한 구조 (Struction) 가 특징이며, 간편한 인터페이스를 통해 사용자에게 매우 친숙합니다. 마지막으로, IsoPort 는 유연한 작동으로 탁월한 처리 속도를 제공하며, 소프트웨어 (옵션) 기능을 통해 최신 테스트 시스템을 사용할 수 있습니다.
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