판매용 중고 ASYST IsoPort #293618717

제조사
ASYST
모델
IsoPort
ID: 293618717
빈티지: 2004
Load ports 2004-2006 vintage.
ASYST IsoPort Wafer Handler는 반도체 제조 및 조립 공장에서 사용하기 위한 고급 자동화 장비입니다. IsoPort 는 다양한 Wafer Manufacturing, Processing 및 Assembly 장비에서 디스크를 로드하고 언로드할 수 있도록 설계되었습니다. 200mm ~ 300mm 크기의 웨이퍼와 25 ~ 50õm 두께의 얇은 웨이퍼를 포함하여 200mm 크기의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 다양한 서보 모터 (servo motor) 와 로봇 암 (robotic arm) 을 사용하여 웨이퍼 처리, 운송 및 하역에 필요한 작업을 수행합니다. ASYST IsoPort (ASYST IsoPort) 에는 산업 로봇 공학 및 자동화 분야의 최신 발전이 포함되어 있으며, 시장에서 가장 정교하고 신뢰할 수있는 기능을 제공합니다. 이소포트 (IsoPort) 는 컴팩트한 설계를 통해 생산 라인에 쉽게 맞출 수 있으며, 넓은 공간에서 웨이퍼 (wafer) 처리 장비에 액세스할 수 있습니다. 통합 도구 관리 장치 (Integrated Tool Management Unit) 는 사용자가 최적의 성능을 얻기 위해 압력, 온도, 가스 흐름 등의 매개변수를 조정할 수 있는 프로세스 조건을 보다 효과적으로 제어할 수 있도록 합니다. 아시스트 이소 포트 (ASYST IsoPort) 는 강성 구조 알루미늄으로 구성된 고체 기지에 구축되어 가혹한 환경 상태에서도 구조적 안정성과 신뢰성을 보장합니다. 조정 가능한 웨이퍼 홀더, 자동 웨이퍼 포지셔닝 머신, 웨이퍼의 정확한 조작을위한 로봇 암 (robotic arm), 안전한 진공 흡입을위한 진공 노즐 (vacuum nozzle) 등 웨이퍼 로딩 및 언로드를 용이하게하는 여러 기능이 내장되어 있습니다. IsoPort에는 잠재적 사고로부터 운영자와 장비를 모두 보호하기 위해 안전 기능이 있습니다. 여기에는 웨이퍼 (wafer) 위치에서 과도한 기울기가 감지되면 로봇팔을 비활성화하는 틸트 방지 (anti-tilt) 메커니즘이 포함됩니다. 또한 ASYST IsoPort (ASYST IsoPort) 는 동시에 작동하는 2 개의 동일한 로봇 암을 사용하여 이중 작동을 수행하므로 오작동시 안전성을 추가로 측정할 수 있습니다. 이 도구는 완전히 프로그래밍 가능하며 다양한 웨이퍼 (wafer) 제조 및 어셈블리 프로세스를 수용하도록 조정할 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 통해 자산 설정 (asset setting) 을 손쉽게 조정할 수 있습니다. 따라서 사용자는 모델을 특정 프로덕션 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. IsoPort 는 Wafer 처리 작업을 포괄적으로 제어할 수 있도록 설계된 직관적인 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 장비의 성능을 평가하는 데 사용할 수 있는 다양한 진단 기능 (Diagnostic Features) 과 잠재적인 문제를 파악하는 데 사용할 수 있는 다양한 진단 기능 (Diagnostic Features) 이 제공됩니다. 또한, 운영 데이터를 로깅할 수 있으며, 이는 안전, 유지 보수, 통계 등의 용도로 사용될 수 있습니다. 요약하자면, ASYST IsoPort Wafer Handler는 사용자가 웨이퍼 로드 및 언로드 작업을 위한 효율적이고 안정적인 솔루션을 제공하는 고급 자동화 시스템입니다. 고도로 발전된 여러 가지 기능을 자랑하는이 장치는 다양한 반도체 제작 (semiconductor fabrication) 및 조립 (assembly) 작업에 이상적입니다.
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