판매용 중고 ASYST IsoPort #146783

ASYST IsoPort는 ASYST Technologies에서 만든 웨이퍼 핸들러로, IC (Integrated Circuit) 웨이퍼의 이동 및 처리에 사용됩니다. IsoPort 는 여러 가지 구성요소로 이루어져 있으며, 이 구성요소는 모두 단일, 자체 포함 장치에 포함되어 있습니다. ASYST IsoPort는 두 가지 주요 구성 요소 (전송 로봇, 핸들러 로봇) 로 구성된 로봇 장치입니다. 전송 로봇에는 cryo-vacuum이있는 6 개의 독립적 인 관절 무기가 있습니다. 이것은 통합 생산 라인에서 하나의 운영 스테이션에서 다음 (next) 으로 IC 웨이퍼를 운송하는 데 사용됩니다. 핸들러 로봇은 5 개의 신뢰성 높은 관절 암을 사용하여 IC 웨이퍼를 전송 로봇에서 웨이퍼 어셈블리 영역으로 이동합니다. IsoPort는 주요 목표로서 정확성, 정확성 및 유연성으로 설계되었습니다. 따라서, ASYST IsoPort는 각 트레이에 포함 된 웨이퍼 수를 식별하고 기판에 존재하는 이상을 감지 할 수있는 웨이퍼 (wafer) 이미지 인식 장비를 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '를 빠르고 정확 하게 옮겨 다룰 수 있다. 또한 IsoPort는 인클로저 내에서 고유한 적외선 온도 제어 환경을 자랑합니다. 이를 통해 민감한 웨이퍼를 손상시키지 않고 결합과 같은 온도 민감 연산이 가능합니다. "로봇 '은" 웨이퍼' 를 옮기거나 취급 할 때 에 신속 한 반응 과 "부드러운" 취급 을 하도록 "프로그램 '되어 기판 무결성 이 손상 되지 않도록 한다. ASYST IsoPort에는 3 차원 매핑 시스템이 제공되어 로봇 암이 웨이퍼를 정확하게 찾을 수 있습니다. 매핑 장치 (Mapping Unit) 는 최대 4 가지 운영 레시피를 저장할 수 있으며, 각 운영 실행에 대해 개별 매핑 옵션을 정의할 수 있습니다. 마지막으로 IsoPort는 사용 편의성을 고려하여 설계되었습니다. ASYST IsoPort의 사용자 인터페이스 (User Interface) 에는 로봇 암을 쉽게 제어하는 데 사용할 수있는 작은 그래픽 아이콘이 있습니다. 연산자 는 전체 생산 기계 에 대한 "그래픽 '" 디스플레이' 형태 의 생산 상태 를 한눈에 확인 할 수 도 있다. 전반적으로, IsoPort는 IC 웨이퍼 제조에 대한 정확성, 정확성 및 유연성을 제공하는 매우 정교한 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 크리오 진공 (cryo-vacuum), 이미지 인식 (image recognition), 온도 조절, 매핑 (mapping), 그래픽 사용자 인터페이스 (graphical user interface) 와 같은 여러 기술을 활용하여 민감한 기판에 손상이 없어도 웨이퍼 조작과 처리가 효율적으로 수행되도록 합니다.