판매용 중고 ASYST IsoPort 9700-9129-01 #9354500

ID: 9354500
빈티지: 2005
Load port 2005 vintage.
ASYST IsoPort 9700-9129-01은 복잡한 반도체 장치의 제조에 사용되는 고품질 반도체 웨이퍼 처리를 용이하게하는 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 다재다능한 장비는 유도 수송 (guided transport), 차단 (dicing) 및 오염 제어 (contamination control) 수송 기술을 통해 반도체 웨이퍼를 기판 처리 라인의 지정된 위치에 정확하게 전달할 수 있습니다. 이를 통해 고성능 집적 회로를 효율적으로 생산할 수 있습니다. IsoPort 9700-9129-01은 효과적으로 여러 개의 개별 장치로 구성된 다기능 웨이퍼 핸들러입니다. 시스템의 중심에는 Loadlock Station (로드 잠금 스테이션) 이 있으며, 이 스테이션은 핸들러에서/에 웨이퍼를 빠르고 올바르게 로드/언로드하는 데 사용됩니다. 또한, 이 장치는 오염 제어 물개 (contamination-control seal) 를 웨이퍼에 적용하여 생산 과정이 먼지, 오염 물질 및 기타 입자가 없는지 확인하십시오. 즉, 내부 구성 요소의 품질과 무결성에 영향을 줄 수 있습니다. 기계의 Cassette-to-Cassette Transport 구성 요소는 생산 라인의 Loadlock 및 처리 스테이션 사이에서 웨이퍼 처리 카세트를 이동합니다. 이 구성 요소 를 통하여 "웨이퍼 '는 생산 과정 의 한 단계 에서 안전 하고 안전 한 다음 단계 로 이동 한다. 다이빙 스테이션 (Dicing Station) 은 전자 장치에서 사용하기 위해 웨이퍼를 개별 컴포넌트로 자르는 작업을 수행합니다. 이 "스테이션 '에는 극히 정확 한 절단 을 할 수 있는 정밀 절단 도구 를 갖춘" 로봇' 이 갖추어져 있어, 그 부품 들 이 생산 에 최적화 되어 있다. 마지막으로, 공구의 오염 제어 전송 (Contamination Control Transport) 구성 요소는 입자가 존재하는 영역에서도 오염이 없는 환경을 유지하면서 생산 환경을 통해 웨이퍼를 이동하도록 설계되었습니다. 이 구성 요소는 고압 공기 (high-pressure air) 를 사용하여 오염 물질을 수송선에서 강제로 제거하며, 저입자 인터페이스 (low-particle interface) 로 제작되어 자산을 통한 입자의 수송을 방지합니다. 전반적으로 ASYST IsoPort 9700-9129-01은 고성능 집적 회로의 생산을 촉진하기 위해 설계된 고급 다용도 웨이퍼 핸들러입니다. 처리기 (Handler) 는 여러 서브시스템을 통해 운영 라인을 통해 신속하게 안전하게 웨이퍼를 전송하고, 장치에서 사용되는 구성요소의 품질과 성능을 효과적으로 극대화하는 오염 (contamination) 및 다이빙 (dicing) 기능을 제공합니다.
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