판매용 중고 ASYST INX 2200 #9402256

ASYST INX 2200 (ASYST INX 2200) 은 제조 환경에서 최대 200mm 웨이퍼를 효율적으로 처리하도록 설계된 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 완전 자동 (Fully Automated) 장비로, 사용자 개입 없이 빠르고 안정적인 웨이퍼 처리를 지원합니다. 이 시스템에는 자동 난방 오븐, 먼지 제어 시스템, 자동 도킹 (auto-docking) 그래플링 장치 등의 기능이 장착되어 작동이 가능합니다. ASYST INX2200 (ASYST INX2200) 은 2축 웨이퍼 처리 장치로서, 지능형 동작 제어를 통합하여 다중 축 이동을 지원하므로 처리량 성능이 향상됩니다. 최대 750mm/sec의 최고 속도로 최대 250mm/sec2의 높은 가속을 제공합니다. 이 기계는 진동을 최소화하고 부드러운 동작 제어 (motion control) 를 보장하여 최적의 생산성과 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. INX-2200은 최대 400mm 범위의 오버 헤드 로봇 암 (overhead robotic arm), 자동 베이킹 오븐 및 이중 접촉 및 자동 오작동 탐지가있는 안전 매트 유형 센서 도구 (Safety Mats-type sensor tool) 와 같은 광범위한 기능을 통해 설계되었습니다. 자동화 된 "오븐 '은 다른 온도 에서" 웨이퍼' 를 구울 수 있도록 온도 를 조정 할 수 있다. 이는 제조 환경에서 더 높은 수율에 기여합니다. 안전 매트 (Mats) 형 센서 에셋은 로봇의 작업 영역에 들어가는 모든 외국 물체를 감지하고 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 의 팔을 중지하여 웨이퍼의 손상을 방지합니다. 이 모델에는 웨이퍼를 보호하는 먼지 제어 장비도 포함되어 있습니다. 이 "시스템 '은 송풍기 를 이용 하여 공기 흐름 을 계속 지도 하고" 웨이퍼' 표면 의 정전기 를 감소 시킨다. 송풍기와 필터는 환경을 깨끗하게 유지하고 품질 결과를 보장합니다. INX 2200 은 두 가지 작동 모드, 즉 Run Mode (자동 작업 수행) 와 Hand Mode (수동 조정 및 작업 수행) 로 설계되었습니다. 또한, 웨이퍼의 안전한 처리를 위해 진공 픽업 헤드 (vacuum pickup head) 에 맞는 자동 도킹 그래플링 장치가 제공됩니다. 이 장치는 간단한 설치 및 설정을 위해 설계되었으며 X 축과 Y 축으로 이동할 수 있습니다. 전체적인 장치는 연속적이고, 정확하고, 신뢰할 수있는 웨이퍼 처리를 제공하도록 만들어졌으며, 모든 인간 인터페이스를 최소화합니다. ASYST INX-2200 은 제조 공정의 효율성을 간소화하고 향상시키는 완벽한 솔루션 패키지를 제공합니다. 빠른 모션 제어 (fast motion control), 자동 베이킹 오븐 (automated baking oven) 및 고정밀 먼지 조절 머신 (high-precision dust control machine) 과 같은 강력한 기능은 재료 처리에 이상적인 솔루션을 제공합니다. 이 도구의 주요 장점은 사용자 개입 (user intervention) 과 품질 (quality) 보증을 최소화하여 처리량이 높습니다.