판매용 중고 ASYST INX 2200 #293748402

ASYST INX 2200은 반도체 산업에서 최적의 성능을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 고급 핸들러는 현재 반도체 프로세스의 대부분에 적합하며, 진공 (vacuum) 환경에서 작동할 수 있습니다. 최대 200x 2 "또는 4" 웨이퍼까지 운송 할 수 있습니다. 매우 정확한 위치와 "클릭 인 (click in)" 설치를 통해 수직/수평 전송을 모두 제공합니다. 우수한 열 관리 기능은 온도 이동 중에 최소화되며, 모든 금속 연동 도어는 공기 오염을 최소화합니다. ASYST INX2200의 모션 장비는 2 개의 Z축, 1 개의 X-Y 간트리 및 기울기 및 회전 드라이브 세트로 구성됩니다. Y-Z 조합은 웨이퍼의 수직 및 딥 전송을 허용하는 반면, 간트리 (gantry) 는 웨이퍼 위의 섀도우를 줄이는 데 도움이됩니다. 이것은 웨이퍼의 손상 및 불규칙성 가능성을 줄입니다. 기울기 및 회전 드라이브 세트를 사용하면 빠르고 정확하게 정렬하고 배치할 수 있습니다. 동적 회전은 더 정확한 위치를 지정하여 부드러운 동작을 보장합니다. 핸들러의 프레임은 고급 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어져 뛰어난 구조적 안정성과 최대 강성을 제공합니다. 이 장치는 가동 중지 시간 동안 장치를 쉽고 빠르게 설치 또는 제거하기 위해 전체 프로파일이 낮습니다 (영문). 단순한 운영 모드 (Operation Mode) 와 모듈식 설계 (Modular Design) 를 통해 사용자는 필요에 따라 구성을 조정할 수 있습니다. 또한 INX-2200에는 다양한 경보 및 오류 방지 기능이 장착되어 있습니다. 로드 간격 측정 시스템 (load gap measurement system) 은 잘못된 정렬을 감지하고 사용자가 너무 늦기 전에 경고 (alert) 할 수 있습니다. 공기 흐름 및 기타 환경 변화를 감지하는 커버 유닛 (cover unit) 과 진동 방지 구조의 조절 가능한 핸들 머신 (handle machine) 은 웨이퍼 손상 가능성을 더욱 줄입니다. 또한, 강력하고 안정적인 이 웨이퍼 핸들러에는 고급 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 컨트롤러를 사용하면 LCD 디스플레이를 통해 작업을 관리하고 모니터링할 수 있습니다. 이것은 온도, 습도, 정전기 등과 같은 핸들러의 모든 중요한 정보를 보여줍니다. INX2200은 안정적이고 정밀 처리가 필요한 반도체 프로세스에 적합합니다. 고급 동작 도구 (Advanced Motion Tool) 와 견고한 구조는 부드럽고 효율적인 작동을 보장하는 반면, 오류 방지 기능은 웨이퍼를 안전하고 안전하게 유지합니다. 다양한 기능과 맞춤형 구성을 갖춘 ASYST INX-2200은 탁월한 성능을 제공합니다.