판매용 중고 ASYST INX 2200 #293588012

ASYST INX 2200은 리소그래피, 에치, 증착 도구 등 다양한 반도체 제조 처리 도구로 웨이퍼를 이동, 정렬 및 전송하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. ASYST INX2200에는 4 개의 스테퍼 모터에 의해 구동되는 2 개의 선형 전송 메커니즘이 있습니다. 최대 웨이퍼 처리 속도 (1.0 m/sec) 와 최대 전송 속도 (6 m/sec) 로 작동 할 수 있습니다. 웨이퍼 크기는 3 인치에서 8 인치이며 최대 무게 용량은 2kg입니다. INX-2200 은 다양한 안전 기능 (예: 웨이퍼가 운송 목표에 도달하지 못할 때 활성화되는 자동 차단 (auto-shut off) 메커니즘, 정전 방지 시스템 등) 을 내장하고 있습니다. 또한, 이 장치에는 정확한 웨이퍼 처리를 위해 웨이퍼를 회전하고 배치할 수있는 웨이퍼 중심 장치 (wafer centering device) 가 장착되어 있습니다. 중앙 "가이드 '를 사용 하는" 웨이퍼' 장전 장치 도 포함 되어 "웨이퍼 '를 공구 에 정확 하게 배치 한다. ASYST INX-2200 은 다양한 제어 시스템 (control system) 과 모션 컨트롤러 (motion controller) 를 장착하여 다양한 반도체 처리 도구에 통합할 수 있습니다. 이를 통해 장치 및 해당 기능에 대한 정확하고 자동화된 제어가 가능합니다. 또한, 제어 시스템은 프로세스 제어 및 SPC (statistical process control) 에 필요한 데이터를 보고할 수 있도록 wafer 전송 추적을 용이하게 합니다. INX 2200 은 웨이퍼 처리 기능 외에도 웨이퍼 분리 (wafer separation) 및 정렬 (alignment) 을 수행할 수 있으며 챔버 공기 여과도 처리할 수 있습니다. 여기에는 클린 룸 (clean room) 필터를 사용하여 공기를 청소하는 것이 포함되며, 이는 웨이퍼의 오염을 방지합니다. 이 여과는 또한 미립자 오염의 위험을 줄이는 데 도움이됩니다. INX2200 은 쉽게 설치, 유지 관리, 업그레이드할 수 있는 모듈식 구조로 설계되었습니다. 또한 다중 챔버 시스템 (multiple chamber system) 과 같은 대규모 시스템 통합을 지원하며, 최첨단 기술을 통해 유닛이 정확한 웨이퍼 처리 작업을 수행 할 수 있습니다. 전반적으로, ASYST INX 2200은 반도체 처리 작업의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 안정적이고 정확한 웨이퍼 핸들러입니다. 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 과 안전 (Safety) 기능과 모듈식 구조로 고정밀 웨이퍼 처리 어플리케이션을 위한 이상적인 선택입니다.