판매용 중고 ASYST INX 2200 EXT #9103790

ASYST INX 2200 EXT 웨이퍼 핸들러 (ASYST INX 2200 EXT Wafer Handler) 는 기본 선형 및 랜덤 작업의 높은 처리량과 효율적인 생산을 위해 설계된 자동화되고 유연하며 안정적인 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 한 번에 최대 25 개의 웨이퍼를 처리하여 웨이퍼 처리 시간 (wafer processing time) 과 정확도를 향상시키도록 설계되었습니다. 이 장치는 웨이퍼 로드 암 (wafer loadarm), 수평로드 포트 (horizontal load port) 및 그래픽 사용자 인터페이스로 제어되는 로봇 암 머신 (robotic arm machine) 을 갖춘 로봇 암으로 구성됩니다. 로봇 암은 직관적이고, 사용자 친화적 인 GUI에 의해 제어되며, 이 GUI를 통해 운영자는 처리 매개변수 (processing parameter) 와 명령 로봇 시퀀스 (command robot sequence) 를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 로봇 암은 스테퍼 모터에 의해 구동되며 분당 최대 24 미터 (m/min) 의 속도에 도달 할 수 있습니다. "로봇 '암 에는 최대 25 개 의" 웨이퍼' 를 운반 할 수 있는 "로오드 암 '이 장착 되어 있어 효율적 이고 정확 한" 웨이퍼' 정렬 과 이동 이 가능 하다. 로드 암은 쉽게 조정되도록 설계되었으며 특수 웨이퍼 (wafer) 설비에 맞게 수정할 수 있습니다. 또한 가로로드 포트 (horizontal load port) 를 사용하여 처리된 웨이퍼를 로드, 언로드 및 전송할 수 있습니다. 로드 포트는 다양한 웨이퍼 카세트 (wafer cassette) 및 카세트 홀더와 호환되며, 한 번에 최대 60 개의 웨이퍼를 효율적으로 전송하도록 설계되었습니다. 로드 포트는 로봇 암에 연결되어 있으며 벨트 (belt) 와 풀리 (pulley) 자산으로 구동됩니다. 이 모델에는 프로세스 제어 (process control) 기능이 통합되어 있어 처리 조건과 처리된 웨이퍼의 품질을 모니터링할 수 있습니다. 온보드 데이터 로거 (on-board data logger) 를 사용하면 프로세스 데이터를 신속하게 보고 분석하고 자동화된 프로세스를 설정할 수 있습니다. 이 장비에는 비작동 조건이 감지되고 무접촉 안전 센서 (Contact-less Safety Sensor) 가 발견되면 자동 차단 (Automated Shut-off) 과 같은 내장 안전 기능이 포함됩니다. INX 2200 EXT 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 높은 처리량과 정확한 웨이퍼 처리 작업을 수행할 수 있는 안정적이고 견고한 시스템입니다. 이 장치는 사용자 친화적인 GUI, 빠른 처리 속도, 최대 25 개의 웨이퍼 (wafer) 를 탑재할 수 있어 대용량 운영 환경에 적합합니다. 이 기계는 반도체 웨이퍼 (wafer) 제조 및 사진 해설을 포함한 다양한 응용 분야에 적합합니다.