판매용 중고 ASYST Indexer 2200 #293761418

ASYST Indexer 2200
ID: 293761418
웨이퍼 크기: 8"
SMIF Loader, 8".
ASYST Indexer 2200은 현대 반도체 제조의 요구를 충족하도록 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비는 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 두께로 효율적이고 안정적인 작동이 가능합니다. 모듈식 (modular) 구성과 유연한 레이아웃을 통해 모든 운영 환경에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 시스템은 메인 섀시 (Main Chassis) 와 로봇 암 (Robot Arm) 으로 구성되며, 로드 포트에서 최대 4 개의 프로세스 챔버를 통해 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. "로봇 '암 은 각기 다른" 웨이퍼' 크기 와 방향 을 수용 하도록 조정 할 수 있으며, 그것 은 "웨이퍼 '가 장치 안 에서 적절 히 정렬 되고 처리 되도록 한다. 이 기계 에는 또한 "로봇 '암 이 가공 하기 전 에 각" 웨이퍼' 를 정확 하게 식별 할 수 있는 고급 시력 도구 가 들어 있다. 이를 통해 자산은 다른 웨이퍼 유형과 크기를 정확하게 인식 할 수 있습니다. 또한, 시각 모델 (vision model) 은 웨이퍼의 오염 물질이나 구조적 결함을 감지할 수 있으며, 필요한 경우 장비가 처리를 중지하고 운영자에게 경고 할 수 있습니다. Indexer 2200은 기존 제조 시설에 쉽게 통합 할 수있는 모듈 식 구조를 갖추고 있습니다. SOI 및 실리콘 온 인슐레이터를 포함한 다양한 유형의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 또한, 시스템에는 처리 중 웨이퍼의 온도를 제어하기 위한 고급 온도 제어 장치 (Advanced Temperature Control Unit) 가 장착되어 있습니다. 이 기계는 또한 최적의 온도 균일성을 달성하고 과열 (overheating) 을 방지하기 위해 공기 흐름 관리 메커니즘으로 설계되었습니다. ASYST Indexer 2200은 긴급 및 경보 차단 기능을 포함한 다양한 보안 및 안전 기능을 제공합니다. 이 도구에는 웨이퍼 처리 중 오염을 제거하기 위해 HEPA 필터가 장착 된 클린 룸 (cleanroom) 환경이 장착되어 있습니다. 사고 위험을 더욱 최소화하기 위해 자산에는 긴급 차단 (Emergency Shut-off) 스위치와 같은 장치가 장착되어 있습니다. 이러한 기능은 모두 Wafer 처리가 안전하고 효율적으로 수행되도록 합니다. 전체적으로, Indexer 2200 은 다양한 기능, 안전, 사용 편의성을 염두에 두고 설계된 자동화된 웨이퍼 처리기입니다. 안정적이고 효율적인 방식으로 다양한 웨이퍼 (wafer) 유형과 크기를 처리할 수 있습니다. 이 모델의 모듈식 구성, 비전 장비, 온도 관리 기능은 안전하고 안전한 웨이퍼 처리 환경을 제공합니다. ASYST Indexer 2200은 생산 라인을 간소화하려는 반도체 제조업체에 이상적인 선택입니다.
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