판매용 중고 ASYST DP2200SI #9153350
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ID: 9153350
웨이퍼 크기: 6"-8"
Wafer sorter, 6"-8"
Installation base
BROOKS Wafer sorter:
(8) 2010/10 TSMC6 SCS2000
(4) 2011/03 TSMC8 SCS3000
(4) 2011/05 UMC8A UL-408
(4) 2012/06 UMC8S SCS3000
(3) SCS408
(3) 2013/04 SKY SCS2000
(1) 2014/8 HHGSMC SCS3000
PST Wafer sorter
(2) 2010/01 UMC8A DP2200SI/INX
(6) 2010/10 TSMC6 DP3200SI/INX
(1) 2013/02 VIS2 DP2200SI
(1) 2013/04 SKY DP1200SI/INX
(1) 2014/01 UMC8E DP3200SI/INX
(11) 2014/06 SMIC15 DP2200SI/INX
(5) 2014/08 TSMC10 DP3200SI/INX
Instrument mini-environment:
Clean air
Over-pressurization in robotic handling areas
Wafer Handling / Identification:
(2) Pods / Cassette
Cassette scanning with cross-slot detection
Vacuum probes with wafer edge detection
Automatic wafer on probe centering
Optical, non-contact, Flat/Notch finding with eccentricity correction
Supports COGNEX 1721/1741/WinOCR32/AcuReader3/WinNT system
User Interface:
Small-size PC style keyboard
Optional: SECSII/GEM interface
UI: WINDOWS XP
Wafer and system damage preventions:
Pod / Cassette in place sensing
Cross slot detection
Vacuum sensing electronics
UPS / Vacuum reservoir system
Optional wafer out of cassette sensing
Cleanliness:
Class M1 (0.01 particles at 0.02 micron per pass)
Flat / Notch finder accuracy:
± 2.0 degrees in theta
± 1 mm in centering
Vacuum: 23 ± 3 inches Hg (-0.7 x 105 Pa = 20.7 inches Hg)
Temperature: 23° ± 3°C (73.4 ± 5.4°F)
Power requirements:
100–120 Volts, 50/60 Hz, 1500 Watts maximum
200–250 Volts, 50/60 Hz, 1500 Watts maximum.
ASYST DP2200SI 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 다양한 응용 프로그램에서 반도체 웨이퍼의 이동을 용이하게하도록 설계된 초정밀 운송 장비입니다. x, y, z 축을 따라 정확하게 제어하는 고급 드라이브 시스템 (Advanced Drive System) 이 있어 웨이퍼 (Wafer) 운송 중 최고 수준의 신뢰성을 제공합니다. 정교한 컨트롤러를 통해 기존 웨이퍼 (wafer) 처리 제품군과 통합하여 다양한 제조 장비와 완벽하게 통합됩니다. 크기 측면에서, 운송 장치는 컴팩트하지만 직경이 115mm 인 기판을 처리 할 수 있습니다. 특히 양면 웨이퍼를 처리하도록 설계되어 반도체 웨이퍼 (semi-conductor wafer) 생산이 극대화되어 처리량 및 효율성이 향상됩니다. 안전성 측면에서, 운송 기계는 웨이퍼가 외부 부품과 접촉하지 않도록 보호 내부 구조 (protective inner structure) 로 설계되어 웨이퍼가 오염이 없도록 합니다. 또한, 처리 과정에서 웨이퍼가 손상되지 않도록 합니다. 이 도구에는 다양한 적응식 (adaptable) 도구가 있어 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 이러한 도구는 서로 바꿔 사용할 수 있으므로 설치 및 실행 시 유연성을 극대화할 수 있습니다. 또한, 자산에는 모니터링 및 검사 장비가 장착되어 있으며, 안전성과 정확성을 추가로 제공합니다. DP2200SI 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 웨이퍼 생산을 극대화하기 위해 업계 최고의 정밀 기술로 설계된 효율적인 기계입니다. 최소한의 유지 보수가 필요하며, 완전히 자동화된 프로세스를 제공합니다. 즉, 생산은 최소한의 운영자 개입으로 처리 될 수 있습니다. 게다가, 기계 는 과도 하게 안전 하고 믿을 만하며, "웨이퍼 '의 손상 과 오염 을 방지 하기 때문 에, 이 기계 는 매우 효과적 이다.
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