판매용 중고 ASYST Custom #293657970

ASYST 커스텀 (ASYST Custom) 은 다양한 유형의 웨이퍼 기판 및 재료 처리를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 생산· 제작에 사용되는데, 이는 집적 회로를 만드는 핵심 구성 요소이다. 모듈식 (modular) 설계를 통해 생산의 유연성과 변화하는 고객 요구 사항에 신속하게 대처할 수 있습니다. 사용자 정의 (Custom) 는 효율적이고 안전한 웨이퍼 처리 장비를 제공하는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 첫째, 핸들러에는 처리 체인에 들어가기 전에 웨이퍼 (wafer) 의 피쳐를 감지하는 데 사용되는 웨이퍼 모서리 (wafer edge) 검출기가 포함되어 있습니다. 또한 서로 다른 웨이퍼 유형을 빠르게 정렬하고 각 웨이퍼의 원점을 식별하는 통합 RFID 스캔 시스템이 있습니다. 따라서 운영 중단의 경우 신속하게 리콜할 수 있습니다. 둘째, 핸들러는 고급 활성 진동 격리 시스템 (Active Vbration Isolation Systems) 으로 제작되어 웨이퍼 처리 중 뛰어난 안정성과 낮은 진동 기능을 보장합니다. 이 장치 는 또한 "와퍼 '온도 와 습도 가 이동 중 에 극적 으로 변하지 않게 하는" 에어락' 장치 를 "챔버 '각 면 에 포함 시킨다. 핸들러의 활성 포지셔닝 시스템은 고정밀 선형 모터 모션 기술을 사용하여 제조됩니다. 이 기술은 빠른 처리 속도에서도 부드럽고 정확한 웨이퍼 처리를 제공합니다. 핸들러 (예: 로봇, 액추에이터) 의 중요한 구성 요소는 포퍼의 고정밀 정렬을 보장하기 위해 힘 감지 (force-sensing) 기술을 사용합니다. 마지막으로, ASYST 커스텀 (ASYST Custom) 의 자동 클리닝 머신은 로봇, 진공 척 (vacuum chuck) 및 컨베이어를 포함하여 웨이퍼와 접촉하는 모든 표면을 완전히 청소하도록 설계되었습니다. 이것 은 먼지 와 다른 입자 들 이 공정 "챔버 '에 들어가지 못하게 하는 데 도움 이 되며, 이것 은 민감 한 구성 요소 를 손상 시킬 수 있다. 결론적으로, Custom은 고급 집적 회로 (Advanced Integrated Circuit) 및 반도체 생산을 위해 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리 솔루션을 제공합니다. wafer edge detector, 통합 RFID 스캔, 고급 활성 진동 격리, 자동 청소 도구 등, 안전하고 손쉬운 처리를 위해 설계된 다양한 기능을 제공합니다.