판매용 중고 ASYST Axys 21 #9293393

ASYST Axys 21은 반도체 및 생명 공학 산업을위한 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 장거리에서 최적화되고 안정적인 웨이퍼 처리 및 수송을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 다양한 응용 프로그램의 웨이퍼 (wafer) 처리를 위해 깨끗하고, 효율적이며, 안전한 환경을 제공합니다. Axys 21에는 로드 잠금 (load lock), 프로세스 챔버 (process chamber), 전송 모듈 (transport module) 및 시퀀스 컨트롤러 (sequence controller) 와 같은 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 하중 잠금 장치 (Load Lock) 는 운송 및 보관 중 환경 오염으로부터 섬세한 웨이퍼를 보호하는 데 사용됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 웨이퍼 스테이지에서 웨이퍼를 조작할 수 있습니다. 3 축 서보 구동 시스템이 부드럽고 정확한 전송을 가능하게하기 때문에 수송 모듈 (Transport Module) 은 장거리 웨이퍼 (Wafer) 를 정확하고 오염없이 이동할 수 있습니다. 마지막으로, 시퀀스 컨트롤러는 편리한 명령 제어 인터페이스 (command-driven interface) 로 웨이퍼를 정확하고 반복적으로 처리 할 수 있습니다. ASYST Axys 21 장치의 주요 장점은 정확성, 반복 가능성 및 오염 조절입니다. 3 축 서보 구동 기계와 반복 가능한 모션은 웨이퍼를 정확하고 최소한의 오염으로 처리합니다. 로드 잠금 (load lock) 기능은 웨이퍼 순도 (wafer purity) 를 높이고 작업 환경에 외부 오염이 발생할 위험을 제거합니다. 또한, 수송 모듈 (Transport Module) 은 웨이퍼가 장거리 및 최소한의 오염으로 정확하게 전송되도록 보장합니다. 마지막으로 Axys 21은 안전하고 신뢰할 수 있습니다. 내결함성 (fault-tolerant) 설계 및 통합 안전 시스템은 웨이퍼가 안전하고 정확하게 처리되도록 합니다. 게다가, 이 도구는 오류를 감지하고 잠재적 손상을 최소화하기 위해 다양한 센서와 진단 (diagnostics) 을 포함합니다. 결론적으로 ASYST Axys 21은 효율적이고 정확하며 안전한 웨이퍼 처리를 제공하는 최상위 웨이퍼 핸들러입니다. 로드 잠금 (load lock), 프로세스 챔버 (process chamber), 전송 모듈 (transport module) 및 시퀀스 컨트롤러 (sequence controller) 와 같은 내장 기능은 깨끗하고 오염이 없는 프로세스에 기여합니다. 또한, 정확도, 반복 가능성 및 안전 제어 (Safety Control) 는 장거리 섬세한 웨이퍼를 처리하기에 이상적인 자산입니다.