판매용 중고 ASYST Axys 21 #9283263

ASYST Axys 21은 산업 등급 제작 환경 내에서 반도체 웨이퍼 캐리어의 자동 로드 및 언로드를 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 고급 로봇 동작 제어 및 공기 쿠션 정밀도를 통합 한 Axys 21은 전자 빔 (e-beam) 및 이온 임플랜터 (ion implanter) 와 기타 다양한 웨이퍼 처리 시스템을 촉진 할 수 있습니다. 이를 통해 다양한 크기, 무게, 모양으로 와퍼 캐리어를 안전하고 안정적으로 조작할 수 있습니다. "웨이퍼 '손잡이 는 극히 정확 하게" 웨이퍼' 를 찾아서 잡는 정교 한 시력 장치 를 갖추고 있다. BLDC (Heavy-duty Brushless) 모터는 안정적이고 부드러운 동작을 제공하는 반면, 내장 옵티컬 선형 인코더는 위치 정밀도를 유지하는 데 도움이됩니다. 웨이퍼의 손상을 막기 위해, 웨이퍼 캐리어를 움직이는 셔틀은 공기 쿠션 리프팅 메커니즘을 사용합니다. 리프트는 최대 30kg까지 지원하며 0 ° C ~ 40 ° C의 온도에서 작동합니다. ASYST Axys 21은 통합 브러시 시트 클리닝 롤러 및 리퀴드 플로우 디자인과 통합 웨이퍼 클리닝 솔루션을 통합합니다. Axys 21은 또한 직관적인 터치 스크린 컨트롤 패널과 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 갖추고 있어 프로세스 상태를 손쉽게 운영하고 모니터링할 수 있습니다. 내장 안전 기능에는 전원 장애, 기압 손실 및 수동 작동에 대한 경보가 포함됩니다. 또한 웨이퍼 방해, 웨이퍼 정렬 오류 및 기타 잠재적 오작동을 감지하는 센서를 포함합니다. 또한, 웨이퍼 핸들러에는 추가 보호 장치로 E2 비상 정지 선택기가 포함됩니다. ASYST Axys 21은 대부분의 업계 표준 반도체 패브와 프로세스 모듈과 호환됩니다. 이 시스템은 1.2 초의 공칭 사이클 시간을 제공하며 로더 (옵션) 를 사용하여 최대 1,000 개의 웨이퍼 캐리어를 제공합니다. 또한 프로세스 다운타임을 최소화하고, 전반적인 프로세스 효율성을 향상시키고, 유지 보수 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다. 간단히 말해서, Axys 21은 광범위한 어플리케이션을위한 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 의 로드 및 언로드를 자동화하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 안정적이고 안전한 작동을 보장하기 위해 다양한 정교한 모션/안전 (motion/safety) 기능을 갖추고 있습니다.