판매용 중고 ASYST Axys 21 #293804866

ASYST Axys 21은 웨이퍼 및 어셈블리 자동화 솔루션을 전문으로하는 국제 회사 인 ASYST Technologies (ASYST Technologies) 에서 설계 및 제조 한 고정밀 자동 웨이퍼 핸들러입니다. Axys 21은 검사, 처리, 테스트, 정렬, 이미지, 마크, 전송 등 다양한 응용 프로그램에서 베어 및 패키지 웨이퍼를 처리하도록 특별히 설계된 다목적 도구입니다. ASYST Axys 21은 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 10-20äm 범위의 정확도를 가지며, 동시에 최대 21 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 제품은 매끄럽고 정확한 웨이퍼 회전을 가능하게하며 고온 기판, SOI 웨이퍼, GaAS 웨이퍼 등 다양한 기판을 처리하도록 맞춤형으로 조정되었습니다. 처리량을 최대화하기 위해 설계된 각 웨이퍼 척 (Wafer Chuck) 은 자체 이중 축 동작 컨트롤러에 의해 구동되어 웨이퍼 플랫 위치에 있을 때 최대 0.01 ° 의 정밀도를 제공합니다. 또한, Autostation은 웨이퍼 언로드 및 로딩 프로세스를 향상시켜 카세트로의 부드럽고 정확한 전송, 더미 웨이퍼 로딩 (dummy wafer) 을 용이하게합니다. 또한 통합 옵션은 고정밀도 정렬, 웨이퍼 식별 (Wafer Identification) 및 마크 감지 (Mark Detection) 용 이미지 처리 등 다양한 응용 프로그램을 허용합니다. 또한, 터치 스크린 패널을 사용하면 설치 및 매개 변수를 보다 쉽게 수정할 수 있으며, 실시간 작업 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. 8M-Byte SDRAM 메모리의 사용은 테스트, 정렬, 이미지 처리 작업 중 웨이퍼에 효과적인 버퍼링을 제공합니다. Axys 21은 반도체, 평면 패널 디스플레이, MEM 등 다양한 산업에 서비스를 제공하도록 설계되었습니다. 뛰어난 정확도, 작은 설치 공간, 광범위한 기판 호환성 등 기본 기능이 내장되어 있어 업계 어플리케이션에 이상적인 "웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) '다.