판매용 중고 ASYST ARM 2200 #9189323

ASYST ARM 2200은 300mm 반도체 웨이퍼를 wafer fab 내에서 프로세스에서 프로세스로 이동하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 한 번에 최대 2 개의 웨이퍼 면을 처리 할 수 있으므로 멀티 레이어 웨이퍼 (multi-layer wafer) 프로세스에 이상적입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 고정식 내부 전송 챔버가 장착되어 있으며, 초저입자 및 오염 제어를 위해 설계되어 웨이퍼 무결성을 보장합니다. 이 장치는 수직 평면에서 움직이는 무거운 듀티 반전 된 Z 형 암을 사용하며, 플랫 웨이퍼 (flat wafer) 로 작동 할 수있는 조정 가능한 기술을 가지고 있습니다. 빠른 작동을 위해 장치가 E3 모터를 갖추고 있어 암이 입력 스테이션 (input station) 에서 출력 스테이션 (output station) 으로 빠르게 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 인코더 장비는 고정밀도, 반복성이 최적화되어 작동 정확성을 보장합니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 작업주기 시간을 연장하고 빈번한 청소의 필요성을 줄이기 위해 세라믹 챔버가 있습니다. 또한, 과온 조건이없는 균일 한 온도 분포에 다중 영역 온도 조절이 사용됩니다. ASYST ARM-2200 (ASYST ARM-2200) 은 프로세스 간 전환시 웨이퍼를 안전하게 고정하고 이동할 수 있도록 설계된 특수 진공 시스템을 갖추고 있습니다. 공기 "쿠션 '은 또한 저압 공정 에서" 웨이퍼' 를 안전 하게 고정 시키는 데 사용 된다. 또한 자동 초점 정렬, 웨이퍼 중심, 자동 온도 조정 및 응력이 없는 HOLD/RELEASE 작업을 제공합니다. 이렇게 하면 프로세스 간에 얇은 웨이퍼를 전송할 때 정확한 위치 (positional) 를 얻을 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 스테인레스 스틸 섀시 (Stainless Steel Chassis) 로 구성됩니다. 또한 성능 향상을 위해 무접촉 웨이퍼 마운트 어댑터와 듀얼 모터 웨이퍼 전송 머신 (dual-motor wafer transfer machine) 도 갖추고 있습니다. ARM 2200 의 통합 제어 장치에는 쉽게 작동할 수 있도록 GUI (Graphical User Interface) 가 있습니다. 이 장치에는 소프트웨어 업데이트도 포함되어 있으며, 실시간 모니터링 및 진단 기능을 통합하여 안정성이 향상되었습니다.