판매용 중고 ASYST ARM 2200-V111S #9267066

ASYST ARM 2200-V111S는 반도체 웨이퍼 수송 및 조작을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. ASYST ARM 2200 V111S는 통합 진공 척이있는 원형 암과 X, Y 및 Z 축에서 팔을 움직일 수있는 선형 슬라이드로 구성됩니다. 이 암은 PLC 컨트롤러 (PLC Controller) 에 의해 제어되고 프로그래밍 가능한 키패드를 통해 프로그래밍되며, 우발적 인 작동을 방지하기 위해 통합 안전 인터 록 (Safety Interlock) 장비가 장착되어 있습니다. 팔은 스텐레스 스틸 바디 (Stainless Steel Body) 에 고정되어 있으며, 이 메커니즘을 중심으로 맞춤형 공압 벨로우 시스템이 있습니다. 벨로우 (bellows) 는 입자, 흙, 기타 잔해로부터 메커니즘을 보호하고, 또한 웨이퍼 수송과 관련된 소음 수준을 줄입니다. 팔에는 무접촉 브레이크 아웃 (contactless breakaway) 메커니즘과 브레이크 밴드 장치 (brake band unit) 가 장착되어 안전한 웨이퍼 수송을 보장합니다. "웨이퍼 '는 통합 진공" 척' 을 사용 하여 팔 에 적재 되는데, 이 "척 '은 하중" 포오트' 에서 "웨이퍼 '를 집어 올려 팔 의 길 을 따라 이동 시킨다. 팔은 극도의 유연성을 가지고 있으며 X 방향과 Y 방향 모두에서 정확하게 움직일 수 있습니다. 또한 ARM 2200-V111S에는 데이터 관리 용 소프트웨어가 내장되어 있습니다. 소프트웨어는 웨이퍼 전송 프로세스를 실시간으로 모니터링하며, 웨이퍼 (wafer) 레시피를 저장하여 웨이퍼를 로드할 때 설정 시간을 최소화합니다. 또한 자동 감지 기능 (autosensing feature) 을 사용하여 웨이퍼의 올바른 로드 포트 크기를 자동으로 선택합니다. ARM 2200 V111S는 최고 효율성을 고려하여 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. "뉴우요오크 '는 여러 가지" 웨이퍼' 와 재료 를 처리 할 수 있으며, 그것 은 정밀 하고 믿을 만하다. 또한, 통합 안전 기능 및 데이터 관리 기능을 통해 ASYST ARM 2200-V111S는 대용량 웨이퍼 전송 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.