판매용 중고 ASYST ARM 2200-V111S #293754970

ASYST ARM 2200-V111S는 고정밀 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계된 최고급 웨이퍼 핸들러입니다. 4 중 축 처리를 갖춘 고급 수직 8 각 웨이퍼 인터페이스와 초저 마찰 작동을 갖춘 정밀 공기 베어링 선형 축 시스템이 특징입니다. 다양한 방향과 공간에서 최대 200mm 직경 웨이퍼 (wafer) 를 처리 할 수 있으며, 시간당 최대 600개의 웨이퍼 (wafer) 를 사용할 수 있습니다. 최대 수명 및 내구성, 뛰어난 유연성, 높은 수준의 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. ASYST ARM 2200 V111S는 사용자 정의 가능한 특성 덕분에 탁월한 다목적 운영을 제공합니다. 독보적인 아키텍처는 다양한 wafer 크기와 shape variable 을 수용할 수 있는 유연성을 제공하며, 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 wafer handling 솔루션을 설계, 제조할 수 있습니다. 소프트웨어 기반 플랫폼은 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 이동하고 정확한 위치를 지정하며, 매개 변수 조정을 쉽게 할 수 있는 대화식 디스플레이를 제공합니다. 오작동 시 오류를 추적하고 경고를 발행하는 프로세스 모니터링 (process-monitoring) 기능이 내장되어 있으므로 웨이퍼 처리 (wafer-handling) 작업을 적시에 실행할 수 있습니다. ARM 2200-V111S는 최고 수준의 정확성과 정확도를 위해 설계되었습니다. 고급 서보 제어 선형 작동 시스템을 사용하며, 매우 낮은 마찰 동작을 통해 뛰어난 반복성과 탁월한 정확도를 제공합니다. 첨단 진동 방지 기술은 진동 효과를 줄여 입자 손상의 위험을 제거합니다. 최종 이펙터 설계는 축의 중심선에서 수평으로 웨이퍼를 오프셋하여 로드 (load) 및 언로드 (unload) 동작의 전환 시간을 최소화함으로써 위치 정확도를 더욱 높입니다. 안전성 측면에서 ARM 2200 V111S에는 다양한 보호 기능이 있습니다. 고장률이 매우 낮으며, 안전하지 않은 움직임 (movement) 이나 비정상적인 조건을 감지할 수 있는 센서가 장착되어 있습니다. 또한, "로봇 '" 암' 이 비상 정지 의 경우 에 원래 위치 에 머무르게 하고, 외부 손상 이나 손상 을 방지 하기 위하여 감금 된, 밀폐 된 "프레임 '구조 로 만들어지는 정기적 인 기계 연동 장치 가 특징 이다. 전반적으로 ASYST ARM 2200-V111S는 모든 정밀 웨이퍼 처리 요구에 권장됩니다. 다용도 설계, 높은 수준의 정확성, 반복성, 그리고 다양한 고급 안전 (safety) 기능 덕분에, 모든 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있는 안정적이고 견고한 솔루션을 제공합니다.