판매용 중고 ASYST ARM 2200-V111S #129936

ASYST ARM 2200-V111S 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 반도체 및 관련 산업의 요구를 충족하도록 설계된 강력하고 비용 효율적인 로봇 장비입니다. 이 시스템은 이중 팔, 단일 축 웨이퍼 핸들러입니다. 주요 목적은 웨이퍼를 한 프로세스 도구에서 다른 프로세스 도구로 전송하는 것입니다. ASYST ARM 2200 V111S에는 2 개의 독립 로봇 무기가 장착되어 있습니다. 각 로봇 암에는 5 도의 자유가 있으며 최첨단 정밀 동작 제어 및 강제 피드백 (feedback) 기술을 사용하여 정확하고 반복 가능한 동작을 수행합니다. 동작 제어 장치 는 정밀 "베어링 '에 연결 되어" 알루미늄' 기지 에 부착 되는 "서보 모우터 '에 의하여 구동 된다. 공정 요구 조건 에 따라 각 "암 '을 쉽게 추가 하거나 제거 할 수 있기 때문 에, 기계 의 확장 은 쉽다. 자동 웨이퍼 운송을 위해 선택적 웨이퍼 셔틀을 사용할 수 있습니다. 이 "셔틀 '은 여러 개 의" 웨이퍼' 를 한 번 운반 할 수 있어서 더 빠른 "웨이퍼 '취급 과정 이 가능 하다. 시력 센서 (vision sensor) 와 자동화된 웨이퍼 처리 (automated wafer handling) 프로세스를 갖춘 셔틀을 프로그래밍하여 웨이퍼를 한 프로세스 도구에서 다른 프로세스 도구로 이동할 수 있습니다. ARM 2200-V111S 는 Cleanroom 환경에서 작동하도록 설계되었으며 대부분의 표준 프로세스 툴과 호환됩니다. 또한 정밀 정렬 및 웨이퍼 위치를 위해 LIS (Laser Interferometer Tool) 가 장착되어 있습니다. LIS에는 각각 레이저 및 광학 검출기 쌍이있는 2 개의 조정 가능한 채널이 포함됩니다. 이 자산에는 원격 액세스 및 진단을 지원하는 웹 기반 원격 서비스 인터페이스도 포함되어 있습니다. 이 인터페이스를 사용하면 원격 문제 해결, 프로그래밍 및 유지 관리를 수행할 수 있습니다. 또한이 모델에는 외부 자동화 시스템을위한 사용자 선택 가능한 핸드오프 기능이 있습니다. ARM 2200 V111S 는 신뢰성이 높고 견고하여 광범위한 운영에 적합한 제품입니다. 또한, 모듈식 설계를 통해 기존 제조 작업에 쉽게 통합할 수 있습니다. 이는 정확하고 안정적인 웨이퍼 처리 (wafer handling) 를 요구하는 광범위한 산업에 이상적인 선택입니다.