판매용 중고 ASYST ALU 2200 #9411128

ASYST ALU 2200 (ASYST ALU 2200) 은 다양한 반도체 제작 공정에서 원시 웨이퍼 및 포장되지 않은 주사위를 지정된 목적지로 운송 할 수있는 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 제품은 웨이퍼 (wafer) 조작을 위해 다양한 장치와 머신 (machine) 에 통합할 수 있도록 설계되었으며, 프로세스 영역 안팎의 웨이퍼 (wafer) 를 효율적이고 정확하게 전송할 수 있습니다. 따라서 ALU 2200은 대용량 반도체 제작 환경에서 널리 사용되는 선택입니다. ASYST ALU 2200은 대용량, 안정성, 정확성 및 정밀도를 갖춘 작고 안정적인 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 잘 정의 된 로봇 아키텍처를 사용하여 효율적이고 안정적인 웨이퍼 처리를 제공합니다. 이 장치에는 웨이퍼 조작을위한 6 개의 동작 축이 있으며, 6 륜 운송 로봇과 가변 속도 웨이퍼 처리 로봇이 있습니다. 로봇은 위, 아래, 옆의 세 방향으로 이동할 수 있습니다. 로봇은 또한 웨이퍼를 뒤집고 회전시킬 수 있습니다. ALU 2200은 고성능 비전 시스템 (vision system) 과 바코드 장치를 사용하여 알루미늄 카세트의 웨이퍼를 포함하여 웨이퍼를 감지하고 읽습니다. 비전 머신 (vision machine) 은 웨이퍼의 레이블, 엠블럼 및/또는 바코드를 감지하고 인식할 수 있으며, 패키지 ID를 확인하여 수동 검사 (manual inspection) 를 수행할 필요가 없습니다. ASYST ALU 2200's vision tool은 데이터 처리 및 분석을 통해 로드 스테이션에서 대상 작업 공간과 웨이퍼 배치를 추적 및 비교합니다. 자산은 또한 각 웨이퍼 로트 (wafer lot) 에 대한 종합적인 데이터 분석을 제공하여 프로세스 상태 및 웨이퍼 (wafer) 의 정확한 위치에 대한 정확한 정보를 제공합니다. 알루 2200 (ALU 2200) 은 모든 유형의 반도체 제작 프로세스에 적합하도록 설계되었으며, 자동 센서 및 기능을 통해 웨이퍼 잼 (wafer jam) 및 기타 프로세스 이상을 감지하여 정확성과 생산성을 향상시킵니다. 이 모델은 SEMI E74 표준에 의해 인증되었으며 SEMI Cleanroom Standard E64를 준수합니다. ASYST ALU 2200은 제조, 테스트, 조립과 같은 프로세스 자동화에 적합합니다.