판매용 중고 ASYST ALU 2200 #9172002

ASYST ALU 2200 웨이퍼 핸들러는 자동 웨이퍼 및 레티클 처리 작업을 위해 설계된 최첨단 로봇 장비입니다. 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 모양을 처리 할 수있는 고급 로봇 암이 특징입니다. 이 처리기는 스테이션 간 웨이퍼 이동, 저장 및 수송 웨이퍼 (wafer and transport wafer), 웨이퍼 청소용 진공 챔버 (vacuum chamber) 를 통한 웨이퍼 처리, 반도체 웨이퍼 봉인 등 다양한 맞춤형 기능을 갖추고 있습니다. ALU 2200은 신뢰할 수있는 스테퍼 모터 시스템을 사용하여 안정적이고, 제어되며, 유지 보수가 용이합니다. 로봇 암은 2 개의 독립적 인 선형 슬라이더와 정확한 타겟팅 및 포지셔닝을위한 중앙 관절 포인트로 구성됩니다. 다중 축 서보 모터 (multi-axis servomotor) 는 로봇 암의 방향을 정확하게 제어하여 사용자에게 높은 수준의 정밀도 및 반복 성을 제공합니다. 이 장치는 또한 개별 컴포넌트의 속도를 제어하여 신속하고 정밀한 작동을 할 수 있습니다. ASYST ALU 2200에는 정확한 웨이퍼 처리 작업을 위한 고급 이미징 기능이 있습니다. 16 메가 픽셀 흑백 CCD 카메라와 고급 이미징 프로세서를 사용하여 웨이퍼 백사이드의 고해상도 이미지를 제공합니다. 이미징 프로세서는 2D 웨이퍼 ID도 인식하고 저장합니다. 이 기계는 최대 30 개의 다른 웨이퍼 ID를 저장하고 내부 클램핑 도구에 최대 30 개의 웨이퍼를 저장할 수 있습니다. 이 기능은 처리량을 높이고 다운타임을 줄여줍니다. 자산 효율성을 최적화하기 위해 ALU 2200 은 유연한 중앙 집중식 제어 모델에서 작동하도록 설계되었습니다. 이 장비는 servomotor 및 vacuum 부하를 모니터링하고 실시간 진단을 제공하여 성능을 유지하고 최적화합니다. 또한 다른 자동 시스템과의 통신도 지원합니다. 이 시스템은 사용자에게 친숙한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 갖추고 있어 장치의 메뉴와 컨트롤에 쉽게 액세스할 수 있습니다. ASYST ALU 2200 웨이퍼 핸들러는 안정적이고 효율적이며, 향상된 처리량, 향상된 안전 기능, 향상된 오염 제어 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 부품과 제어기 (Control Machine) 는 자동화된 반도체 제조 공정에서 효율적인 웨이퍼 처리 작업을 위한 탁월한 선택입니다.