판매용 중고 ASYST ALU 2200-RT-HS #9152445
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ASYST ALU 2200-RT-HS는 고정밀 부품 축소를 위해 특별히 설계된 완전 자동화 웨이퍼 핸들러입니다. 고속 모션 알고리즘으로 정확하게 프로그래밍되며 직관적 인 프로그래밍 인터페이스가 제공됩니다. 온도 조절 환경에서 작동하도록 설계되었으며 견고하고 견고한 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 구조가 제공됩니다. 이 처리기는 유럽 CE (European CE) 표준을 준수하도록 설계되었으며, 얇고 민감한 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 에너지 효율이 높으며, 유휴 주기에는 자동 에너지 절약 모드가 사용됩니다. ALU 2200-RT-HS에는 프로세스 중 진동 및 회전 변위를 측정하는 통합 충격 센서가 있습니다. 이렇게 하면 처리 오류를 줄이고 웨이퍼 서피스에서 채터를 최소화할 수 있습니다. 또한, 필요한 경우 시스템에서 장애를 감지하고 자동으로 중지할 수 있는 장애 감지 (fault detection) (옵션) 기능이 있습니다. 핸들러에는 2 개의 그리퍼가 장착되어 있습니다. 1 개의 P 형 그리퍼는 웨이퍼를 잡고 다른 하나는 웨이퍼를 들어 올리고 색인합니다. 두 유형의 그리퍼 (gripper) 는 강성이 높은 정밀하게 가공되며 나노 미터 정확도 내에서 얇고 민감한 웨이퍼를 정확하게 인덱싱 할 수 있습니다. P 형 그리퍼에는 다양한 두께의 웨이퍼를 수용 할 수있는 조정 가능한 턱이 있습니다. "핸들러 '는" 웨이퍼' 의 표면 과 균일 한 접촉 을 유지 하기 위하여 "다운포스 '를 정확 하게 제어 할 수 있다. 다운 포스는 0.5 - 5.5 N 범위에서 조정할 수 있습니다. 또한 최적의 웨이퍼 포지셔닝 시스템이 있습니다. 이렇게 하면 "그리퍼 '가 가장자리 대신" 웨이퍼' 의 중심 에 접하게 된다. ASYST ALU 2200-RT-HS는 그래픽 디스플레이와 함께 사용자에게 친숙한 소프트웨어 인터페이스를 제공합니다. 편리한 메뉴 방식 기능으로 사용자가 손잡이를 보다 쉽게 제어, 조정할 수 있습니다. 이더넷 또는 RS-232를 통해 원격으로 프로그래밍 할 수도 있습니다. 알루 2200-RT-HS (ALU 2200-RT-HS) 는 동적인 범위가 큰 고정밀도 부품을 축소할 수 있도록 설계되었으며, 얇고 민감한 웨이퍼를 처리하기 위한 최상의 선택입니다. 고속 모션 알고리즘, 장애 감지 기능 (옵션), 정밀 머시닝 그리퍼, 최적의 웨이퍼 포지셔닝 시스템, 조절 가능한 다운포스, 사용이 간편한 소프트웨어 인터페이스 및 원격 프로그래밍 기능을 갖춘 ASYST ALU 2200-RT-HS는 정확도가 높은 정밀도 부품 축소를 위한 안정적이고 효율적인 솔루션입니다.
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