판매용 중고 ASYST ALU 2150 #9411127

ASYST ALU 2150은 자동 제조 환경에서 최대 150mm 직경의 웨이퍼를 처리하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 장비는 웨이퍼를 처리 및 배치하는 데 사용되는 관절 암 (articulated arm) 으로 구성됩니다. 다양한 운영 환경에서 정밀 동작 및 정확성을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 동력 베이스 (Motorized Base) 로 구성되어 있으며, 작업 챔버 내에서 Z축을 따라 팔을 움직이는 선형 슬라이드 (Linear Slide) 를 사용하여 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 선형 슬라이드에는 조정 단위가 내장되어 있어, 잘못된 정렬을 보완할 수 있으며, 정확한 배치를 보장할 수 있습니다. 팔에는 150mm 웨이퍼와 함께 사용하도록 설계된 c 자형 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 가 부착되어 있습니다. C 자형 홀더는 우수한 그립 앤 컨트롤 (grip and control) 을 제공하여 자동 동작 중에 웨이퍼가 안전하게 고정됩니다. "홀더 '는" 와퍼' 크기 나 "타입 '을 손쉽게 변경 할 수 있도록" 암' 을 빠르게 부착 하고 분리 할 수 있도록 설계 되었다. 알루 2150 (ALU 2150) 에는 팔 끝에 위치한 비전 머신 (vision machine) 도 포함되어 있는데, 이를 통해 자동 도구가 웨이퍼를 인식하고 제자리로 올바르게 이동할 수 있습니다. 이 도구는 여러 x, y, z 좌표로 프로그래밍하여 원하는 위치에 웨이퍼를 정확하게 배치할 수 있습니다. 시력 자산은 또한 웨이퍼 (wafer) 의 결함 또는 손상을 감지하는 데 사용되며, 취급 중 추가 손상을 방지합니다. ASYST ALU 2150에는 모델에 내장 된 안전 조치도 포함되어 있습니다. 예를 들어, 팔에는 비상 정지 (emergency stop) 가 장착되어 있으며, 이 장비를 1 초 안에 정지시킬 수 있습니다. 비상 사태가 발생합니다. 또한, 제한 스위치 (limit switch) 가 설치되어 암이 미리 정해진 거리 이상으로 이동할 수 없습니다. ALU 2150 은 생산 및 유지 보수 용도의 정확성, 안전성, 내구성을 보장하는 업계 최고의 Wafer 처리기입니다. 시스템의 정확한 동작 제어, C 자형 웨이퍼 홀더, 통합 비전 장치 (Integrated Vision Unit) 는 정확한 처리 및 웨이퍼 배치를 보장합니다. 비상 정지 (Emergency Stop) 및 제한 (Limit) 스위치는 기계와 인원의 안전을 보장합니다.