판매용 중고 ASYST ALU 2150 #9208208

ASYST ALU 2150 (ASYST ALU 2150) 은 반도체 산업의 생산 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 자동화된 고속 웨이퍼 처리 장비입니다. 150mm 반도체 웨이퍼의 고속 양방향 핸드 오프로, 이 장치는 시간당 최대 350 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 알루 2150 (ALU 2150) 은 기계에 전원을 공급하는 전기 작동기 이외의 움직이는 부품이 없기 때문에 자동화된 제조 공정을 위해 특별히 설계되었습니다. ASYST ALU 2150에는 단일 및 다중 런칭 챔버 (single and multiple launch chamber) 구성이 모두 포함될 수 있으며, 이를 통해 단일 및 이중 캐리 또는 다중 런칭이 가능합니다. 알루 2150 (ALU 2150) 은 보호 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 를 갖추고 있어 웨이퍼와 캐리어 가장자리 사이에 물리적 접촉이 없습니다. 내장 웨이퍼 중심 시스템은 Z축 모터에 의한 정확한 웨이퍼 배치를 보장합니다. 또한 OPS (Optical Positioning Unit) 는 추가 정확도를 가지며 이중 카메라 작동을 제공하여 웨이퍼를 캐리어에 정확하게 배치하고 중앙에 배치합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 확장 및 후퇴하여 미션 작업 전후에 웨이퍼를 잡습니다. 안전한 운영을 위해 ASYST ALU 2150 (ASYST ALU 2150) 은 정적 충전 완화 머신을 사용하여 발사 핸드 오프 (handoff) 동안 캐리어의 한 가장자리에서 다른 모서리로 웨이퍼를 안내하여 정적 충전이 이루어지지 않도록 합니다. ALU 2150은 또한 고급 fail-safe 도구를 사용합니다. 이렇게 하면 시스템이 장애가 감지되면 새 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 로 자동 전환되어 영향을 받는 모듈이 서비스되는 동안 프로세스가 계속 진행될 수 있습니다. ASYST ALU 2150은 매우 안정적이고 효율적이며, 고급 디자인과 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 사용자 정의 가능한 설치 및 고속 기능으로, 운영 환경에 이상적인 솔루션이 됩니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (로컬 제어 및 원격 액세스 옵션 포함) 를 제공합니다. 따라서 사용자 친화적인 작업이 유지됩니다. ALU 2150은 매우 정밀하고 빠른 150mm 반도체 웨이퍼를 제거하고 처리하는 데 적합합니다.