판매용 중고 ASYST ALU 2150 #9119973

ASYST ALU 2150 웨이퍼 핸들러는 많은 대규모 생산 응용 프로그램에 사용되는 완전 자동화 및 프로그래밍 가능한 반도체 웨이퍼 처리 시스템입니다. 단일 및 다중 다이 (die) 크기를 모두 처리할 수 있으며 가동 시간의 안정성과 유연성을 극대화합니다. 이 시스템은 정확한 웨이퍼 제조 환경을 위해 제어된 습도, 온도, 대기를 제공하며, 웨이퍼 캐리어를 빠르고, 간단하게 로드하고, 언로드할 수있는 대용량 로봇 기능을 제공합니다. ALU 2150은 최대 1cm/sec의 속도로 로드 포트에서 로드 포트 스테이션으로 웨이퍼를 이동시키는 고속 전송 캐리지 (High Speed Transfer Carriage) 를 특징으로하며, 정확한 자동 정렬을 위해 웨이퍼의 자동 클리닝, 처리 및 위치를 제공하는 고급 웨이퍼 처리 모듈 (Advanced Wafer Processing Module) 을 제공합니다. 결과적으로 운영 환경에서 처리량이 높고 생산량이 늘어납니다. 내장 카세트 하우징은 공간을 절약하고 완전한 웨이퍼 프로세스 적용 범위를 제공하는 다양한 표준 웨이퍼 트레이 형식, 카세트, 트레이 스트랩, 캐리어 (carrier) 를 수용하도록 조정할 수 있습니다. 조정 가능한 트레이 케이지 (Tray Cage) 를 사용하면 표준화된 생산 라인 매개변수를 빠르게 설정할 수도 있습니다. 또한 ASYST ALU 2150은 품질 관리 및 정확한 운영 데이터 추적을 위한 향상된 트랙 및 추적 기능을 제공합니다. 또한 내장된 오류 감지 메커니즘과 원격 작동 기능을 통해 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 또한, 고급 자동화 시스템을 사용하면 효율적인 웨이퍼 정렬, 캐리어 로딩 및 언로드, 웨이퍼 로봇 배달 등이 가능합니다. 요약하자면, ALU 2150은 반도체 생산에 이상적인 안정적이고, 고속이며, 프로그래밍 가능한 웨이퍼 처리 시스템입니다. 다양한 웨이퍼 형식을 수용할 수 있으며, 고급 트랙/추적 기능, 온도/습도 제어 시스템, 향상된 자동화 시스템 (Wafer 처리) 을 갖추고 있습니다.